[实用新型]闭管扩散容器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种闭管扩散容器，用于芯片制造领域。

背景技术

闭管扩散由于其高掺杂，高均匀性，因而得到广泛的重视。传统铟镓砷外延片都是通过有机气相外延沉积（MOCVD）技术在N型磷化铟基底材料上生长铟镓砷吸收层和本征的磷化铟顶层，因此在工艺制作过程都需要通过各种掺杂技术，形成P型扩散区。

传统闭管扩散是用单端开口的细长玻璃管，里面装外延片和粉末状扩散源，然后通过开口的一端抽真空，再用氢氧焰将其烧熔，最后放在扩散炉中进行扩散。由于其需要抽真空，因此玻璃管的尺寸无法做大，不适合大批量生产；并且，外延片和粉末状扩散源在一起，外延片表面很难清洁干净。

因此有必要设计一种新型的闭管扩散容器，以克服上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术之缺陷，提供了一种适合大批量生产，并且外延片表面洁净度较高的闭管扩散容器。

本实用新型是这样实现的：

本实用新型提供一种闭管扩散容器，包括对接石英管、扩散源容器以及外延片夹具；所述对接石英管具有一装载石英管和一密封石英管，所述装载石英管和所述密封石英管之间通过一环形石英套筒连接；所述扩散源容器设于所述装载石英管内，其具有一装载口，所述扩散源容器内装设有扩散源和石棉；所述外延片夹具设于所述装载石英管内，所述外延片夹具内装设有外延片。

进一步地，所述密封石英管具有一对接端和一封口端，所述对接端与所述环形石英套筒连接，所述环形石英套筒的横截面直径大于所述对接端的横截面直径。

进一步地，所述密封石英管具有一对接端和一封口端，所述对接端与所述环形石英套筒连接，所述对接端的横截面直径大于所述封口端的横截面直径。

进一步地，所述装载石英管具有一封闭端和一开口端，所述开口端与所述环形石英套筒连接，所述环形石英套筒的横截面直径大于所述开口端的横截面直径。

进一步地，所述外延片夹具具有一平端底部和一长方形装载口，所述外延片装设于所述长方形装载口内。

本实用新型具有以下有益效果：

所述闭管扩散容器包括对接石英管、扩散源容器和外延片夹具，使用所述对接石英管，可以实现外延片大尺寸扩散；使用扩散源容器和石棉，扩散源不会污染外延片；使用外延片夹具，可以相对固定外延片，还可以降低开管时，气压的冲击，防止外延片破裂；因此，所述闭管扩散容器不仅解决传统闭管扩散的问题，还适合批量生产。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为本实用新型实施例提供的闭管扩散容器的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的对接石英管的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的扩散源容器的结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的外延片夹具的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1至图4，本实用新型实施例提供一种闭管扩散容器，包括对接石英管1、扩散源容器2以及外延片夹具3。

如图1至图4，所述对接石英管1具有一装载石英管11和一密封石英管12，所述装载石英管11和所述密封石英管12之间通过一环形石英套筒13连接。所述装载石英管11具有一封闭端111、一开口端112以及一管体（已图示，未标号），所述开口端112与所述环形石英套筒13连接，所述环形石英套筒13的横截面直径大于所述开口端112的横截面直径。所述密封石英管12具有一对接端121和一封口端122，所述对接端121与所述环形石英套筒13连接，所述环形石英套筒13的横截面直径大于所述对接端121的横截面直径；并且，所述对接端121的横截面直径大于所述封口端122的横截面直径。因此，所述环形石英套筒13的横截面直径比与其连接的开口端112和对接端121的横截面直径大。