[实用新型]一种多进气口的样品室有效
| 申请号： | 201420328208.1 | 申请日： | 2014-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN203965225U | 公开（公告）日： | 2014-11-26 |
| 发明（设计）人： | 袁洪林 | 申请（专利权）人： | 袁洪林 |
| 主分类号： | G01N1/44 | 分类号： | G01N1/44 |
| 代理公司： | 西安吉盛专利代理有限责任公司 61108 | 代理人： | 张培勋 |
| 地址： | 710069 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型可以应用于现有主流激光剥蚀技术中，具体涉及一种多进气口的样品室，包括立方体状的样品室壳体和样品室壳体下部的样品靶架，样品室壳体的一组相对的两个侧面上分别开有进气口和出气口，所述进气口的数量为2～5个，水平排列在样品室壳体的侧面上，所有水平排列的进气口所形成的线段的中点与出气口同轴。克服现有的样品室在单一的进气口的作用下使得气溶胶的传输效率不好，最终影响分析结果的正确性的问题，从多个进气口同时进气，有效地将激光剥蚀的气溶胶传输到出气口，合理的尺寸设计，增加了传输效率，使得样品室内边角的气溶胶都能快速被传输，进而有益于分析结果的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 进气口 样品 | ||
【主权项】：
一种多进气口的样品室，包括立方体状的样品室壳体（1）和样品室壳体（1）下部的样品靶架（4），样品室壳体（1）的一组相对的两个侧面上分别开有进气口（2）和出气口（3），其特征在于：所述进气口（2）的数量为2～5个，水平排列在样品室壳体（1）的侧面上，所有水平排列的进气口（2）所形成的线段的中点与出气口（3）同轴。
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