[实用新型]一种多进气口的样品室

说明书

技术领域

本实用新型可以应用于现有主流激光剥蚀技术中，具体涉及一种多进气口的样品室。

背景技术

激光剥蚀技术因可以实现几十微米的原位微区采样技术，与电感耦合等离子体质谱联用，可以进行样品的主微量元素和同位素组成的原位微区分析。近年来在地质、材料、生物、化学、考古等研究领域得到了广泛的应用。

激光剥蚀技术将激光器产生的激光经过特殊设计的光路聚焦至待研究样品表面，破坏样品的键能产生细微的样品粒子，然后通过载气将剥蚀出的样品粒子（气溶胶）运送到等离子体质谱中进行微量元素或同位素组成的分析。

影响激光剥蚀分析技术分析准确度的一个关键因素是样品在剥蚀和传输过程产生的分馏效应，该分馏效应主要产生于样品剥蚀池中。传统的样品室由于存在剥蚀位置不同而导致剥蚀产生气溶胶及气溶胶传输过程不尽相同，且有些位置存在涡流，导致剥蚀气溶胶不能完全传输至后续分析系统中，从而影响分析结果的正确性。

传统的样品室，一般只有一个进气口，水平贯穿在样品室侧面上，这样在进气的过程中，可能因为单个进气口气体流量较小而使得气溶胶的传输效率过小，而且单一方向的进气，使得很多边角位置的气溶胶不容易被气体所传输，最终影响分析结果的正确性。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有的样品室在单一的进气口的作用下使得气溶胶的传输效率不好，最终影响分析结果的正确性的问题。

为此，本实用新型提供了一种多进气口的样品室，包括立方体状的样品室壳体和样品室壳体下部的样品靶架，样品室壳体的一组相对的两个侧面上分别开有进气口和出气口，所述进气口的数量为2～5个，水平排列在样品室壳体的侧面上，所有水平排列的进气口所形成的线段的中点与出气口同轴。

所述进气口的截面均为长轴沿水平方向的椭圆形。

所述进气口的个数为3个，中间的进气口与出气口同轴。

所述中间的椭圆形的进气口的长轴长0.3～0.5mm，短轴长0.5～1mm；两边的椭圆形的进气口的面积大于2mm2，所述出气口为内径大于2mm的圆形。

所述样品靶架上方的样品室壳体的空腔的体积小于1L，且高度为3～10mm。

本实用新型的有益效果：本实用新型提供的这种多进气口的样品室，从多个进气口同时进气，有效地将激光剥蚀的气溶胶传输到出气口，合理的尺寸设计，增加了传输效率，使得样品室内边角的气溶胶都能快速被传输，进而有益于分析结果的准确性。

以下将结合附图对本实用新型做进一步详细说明。

附图说明

图1是样品室横切剖面图。

图2是样品室的俯视图。

附图标记说明：1、样品室壳体；2、进气口；3、出气口；4、样品靶架；5、观察窗。

具体实施方式

实施例1：

一种多进气口的样品室，如图1和图2所示，包括立方体状的样品室壳体1和样品室壳体1下部的样品靶架4，样品室壳体1的一组相对的两个侧面上分别开有进气口2和出气口3，所述进气口2的数量为2～5个，水平排列在样品室壳体1的侧面上，所有水平排列的进气口2所形成的线段的中点与出气口3同轴，从观察窗5能随时观察样品室内的情况。

多个进气口2同时进气，能够将激光剥蚀形成的气溶胶迅速传输，相比于单个的进气口，能够将一些边角位置的气溶胶快速吹走，提高分析结果的准确性。

实施例2：

在上述实施例的基础上，进气口2的个数为3个，中间的进气口2与出气口3同轴。进气口2的截面均为长轴沿水平方向的椭圆形。

中间的进气口2与出气口3同轴，符合了一般样品室的进气条件，同轴更容易传输，对于两侧的两个进气口，作为辅助的气源，通过调节两边的进气口与中间的进气口的进气量和流速，能够实现控制样品室内最大程度地传输气溶胶；而且，两侧的进气口，能够将边角位置的气溶胶吹动，使其在样品室内流动被吹走，这样，相比与一般的样品室能更全面地传输气溶胶。

实施例3：

本实施例中，中间的椭圆形的进气口2的长轴长0.3～0.5mm（这里取0.4mm），短轴长0.5～1mm（这里取0.8mm)；两边的椭圆形的进气口2的面积大于2mm2（这里取2.5mm2），所述出气口3为内径大于2mm（这里取2.5mm）的圆形。所述样品靶架4上方的样品室壳体1的空腔的体积小于1L，且高度为3～10mm（这里取5mm）。