[实用新型]背钝化层结构及背钝化P型太阳能电池

摘要

本实用新型公开了一种背钝化层结构，该结构采用Al₂O₃薄膜与TiO₂薄膜的叠层膜结构作为背钝化层结构，由于TiO₂薄膜可以使用喷涂法由钛酸丁酯加热分解制得，具体可通过将硅片放置在加热基板上，将钛酸丁酯均匀喷涂在硅片上面，钛酸丁酯经高温分解而形成TiO₂薄膜；因此其制备非常简单，不需要复杂的制备设备。与目前制备SiN薄膜的PECVD真空镀膜设备相比较，其设备占地空间小、设备结构简单、价格便宜。因而为常规产线进行背钝化电池改造提供了可能。同时，还公开了一种背钝化P型太阳能电池，该电池采用Al₂O₃薄膜与TiO₂薄膜的叠层膜结构作为背钝化层结构。

主权项

一种背钝化层结构，其特征在于，包括：Al₂O₃薄膜，沉积在P型硅片的背面上；TiO₂薄膜，覆盖在所述Al₂O₃薄膜上；其中，所述TiO₂薄膜的厚度为50‑200纳米。