[实用新型]一种面内MEMS驱动运动装置有效
| 申请号： | 201420297432.9 | 申请日： | 2014-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN203930209U | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 陈巧;谢会开 | 申请（专利权）人： | 无锡微奥科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 杨楠 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种面内MEMS驱动运动装置，采用两根V型电热驱动臂（7）配合杠杆原理，更加方便的实现了面内转动操作，且本实用新型设计面内MEMS驱动运动装置结构简单，实际应用过程中，更加便于实际操作控制面内的转动的角度，工作效率得到了提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 驱动 运动 装置 | ||
【主权项】：
一种面内MEMS驱动运动装置，包括底座边框（1）、设置在底座边框（1）表面上的供电焊盘（2）、以及设置在底座边框（1）内的运动架构；其特征在于：运动架构包括第一驱动杆（3）、第二驱动杆（4）、转动杆（5）、长杆（6）和两根V型电热驱动臂（7）；两根V型电热驱动臂（7）顶点相对、且运动方向相反的分别设在底座边框（1）上相对的两条边上，其中，各根V型电热驱动臂（7）的两端分别固定连接在底座边框（1）上，并分别与供电焊盘（2）电连接；第一驱动杆（3）的一端与其中一根V型电热驱动臂（7）的顶点柔性连接，第一驱动杆（3）的另一端与转动杆（5）的一端柔性连接，第二驱动杆（4）的一端与另一根V型电热驱动臂（7）的顶点柔性连接，第二驱动杆（4）的另一端与转动杆（5）的杆身柔性连接，转动杆（5）的另一端与长杆（6）的一端固定连接。
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