[实用新型]一种面内MEMS驱动运动装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种面内MEMS驱动运动装置。

背景技术

可变光衰减器被广泛地用于控制或调节光通信系统中的光强度。例如，在光通信网激光源中需要通过可变光衰减器来调节输出光强。可变光衰减器可基于不同的技术，包括波导指数变化，光束阻挡或偏转等。在微型机电系统(MEMS) 的可变光衰减器中，基于静电的装置是最常见的方法，通过施加电压来产生足够的驱动力，该原理需要大的尺寸与高昂封装成本，专利“一种基于杠杆放大原理的静电驱动MEMS变形镜”CN 101515065 B 利用四个静电驱动臂驱动其连接面外的杠杆机构构成二维MEMS扫描镜。在可变光衰减器中，也有少数使用电热驱动。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种基于电热驱动方式，采用杠杆原理，实现面内转动控制的面内MEMS驱动运动装置。

本实用新型为了解决上述技术问题采用以下技术方案：本实用新型设计了一种面内MEMS驱动运动装置，包括底座边框、设置在底座边框表面上的供电焊盘、以及设置在底座边框内的运动架构；运动架构包括第一驱动杆、第二驱动杆、转动杆、长杆和两根V型电热驱动臂；两根V型电热驱动臂顶点相对、且运动方向相反的分别设在底座边框上相对的两条边上，其中，各根V型电热驱动臂的两端分别固定连接在底座边框上，并分别与供电焊盘电连接；第一驱动杆的一端与其中一根V型电热驱动臂的顶点柔性连接，第一驱动杆的另一端与转动杆的一端柔性连接，第二驱动杆的一端与另一根V型电热驱动臂的顶点柔性连接，第二驱动杆的另一端与转动杆的杆身柔性连接，转动杆的另一端与长杆的一端固定连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案：还包括电流隔离层，电流隔离层设置在底座边框与运动架构之间，以及设置在底座边框表面与供电焊盘之间。

作为本实用新型的一种优选技术方案：所述V型电热驱动臂的两边分别包括至少一根并排设置的电热驱动梁，各根电热驱动梁串联后与所述供电焊盘相连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案：所述长杆为刚性长杆。

本实用新型所述一种面内MEMS驱动运动装置采用以上技术方案与现有技术相比，具有以下技术效果：

（1）本实用新型设计的面内MEMS驱动运动装置，采用两根V型电热驱动臂配合杠杆原理，更加方便的实现了面内转动操作，且本实用新型设计面内MEMS驱动运动装置结构简单，实际应用过程中，更加便于实际操作控制面内的转动的角度，工作效率得到了提高；

（2）本实用新型设计的面内MEMS驱动运动装置中，还设计了位于底座边框与运动架构之间、底座边框表面与供电焊盘之间的电流隔离层，用于阻挡供电电流流入底座边框的结构中，影响对V型电热驱动臂的控制，进一步保证了针对面内转动的精确控制，使得工作效率进一步得到了提高；

（3）本实用新型设计的面内MEMS驱动运动装置中，针对V型电热驱动臂的两边，采用并排设置至少一根电热驱动梁，在实际应用过程中，能够有效提高V型电热驱动臂实时控制动作与效率；

（4）本实用新型设计的面内MEMS驱动运动装置中，针对长杆采用刚性长杆，具有一定的刚度，在转动过程中不会发生只是刚体运动，不发生变形，保证了面内转动动作的实时性，以及装置的使用寿命。

附图说明

图1是本实用新型设计的面内MEMS驱动运动装置的平面示意图；

图2是本实用新型设计的面内MEMS驱动运动装置的立体结构示意图；

图3是本实用新型设计的面内MEMS驱动运动装置中运动架构的平面示意图。

其中，1. 底座边框，2. 供电焊盘，3. 第一驱动杆，4. 第二驱动杆，5. 转动杆，6. 长杆，7. V型电热驱动臂。

具体实施方式

下面结合说明书附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明。