[实用新型]一种集成轨道角动量模式发射器

摘要

本实用新型属于集成光电子学和光通信领域，涉及一种集成轨道角动量模式发射器。该集成轨道角动量模式发射器是由衬底、反射镜结构、有源区、横向光场和电场限制层和产生角向螺旋相位分布的相位板集成生长而成，形成一个独立的集成器件。产生角向螺旋相位分布的相位板可以采用螺旋连续相位板结构、螺旋阶梯相位板结构、叉形衍射光栅相位板结构以及超表面相位板结构等可以提供沿角向呈螺旋相位分布的结构化相位板。本实用新型实现了轨道角动量模式发射器的高度集成和小型化，器件工艺成熟且结构简单易实现，通过对反射镜结构参数以及有源层材料体系和结构的选择可以灵活改变发射轨道角动量模式的波长，对于加快轨道角动量光通信的发展具有重要推进作用。

主权项

一种集成轨道角动量模式发射器，其特征在于，它由衬底、反射镜结构、有源区、横向光场和电场限制层和产生角向螺旋相位分布的相位板构成，上、下两层反射镜结构与有源区形成三明治结构，构成谐振腔，整个谐振腔生长在衬底上，相位板生长在谐振腔上方，所述横向光场和电场限制层生长在有源区和上层反射镜之间，或者通过四周质子注入部分上层反射镜而成。