[实用新型]一种集成轨道角动量模式发射器

权利要求书

1.一种集成轨道角动量模式发射器，其特征在于，它由衬底、反射镜结构、有源区、横向光场和电场限制层和产生角向螺旋相位分布的相位板构成，上、下两层反射镜结构与有源区形成三明治结构，构成谐振腔，整个谐振腔生长在衬底上，相位板生长在谐振腔上方，所述横向光场和电场限制层生长在有源区和上层反射镜之间，或者通过四周质子注入部分上层反射镜而成。

2.根据权利要求1所述的集成轨道角动量模式发射器，其特征在于，所述反射镜结构采用分布式布拉格反射镜。

3.根据权利要求1所述的集成轨道角动量模式发射器，其特征在于，所述横向光场和电场限制层为有源区上生长的选择性氧化层并在中心开窗口用以限制横向光场和电场，或者为有源区上部分高低折射率交替结构分布式布拉格反射层在四周进行质子注入用以限制横向光场和电场。

4.根据权利要求1所述的集成轨道角动量模式发射器，其特征在于，所述产生角向螺旋相位分布的相位板采用螺旋连续相位板结构、螺旋阶梯相位板结构、叉形衍射光栅相位板结构或者超表面相位板结构。

5.根据权利要求1所述的集成轨道角动量模式发射器，其特征在于,在衬底下方以及产生角向螺旋相位分布的相位板的上方增加金属电极以提供载流子注入。

6.根据权利要求1至5中任一所述的集成轨道角动量模式发射器，其特征在于，由多个轨道角动量模式发射器集成在一起形成轨道角动量模式发射阵列，以同时发射出不同阶数的轨道角动量模式。