[实用新型]研磨垫调整器清洗装置及化学机械研磨装置有效
| 申请号： | 201420291434.7 | 申请日： | 2014-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN204075988U | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 唐强;卢勇;张溢钢;马智勇 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B37/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种研磨垫调整器清洗装置及化学机械研磨装置，所述研磨垫调整器清洗装置，包括清洗杯、固定于所述清洗杯的壁上的喷嘴、及固定于所述清洗杯上的第一清洗刷和第二清洗刷。采用本实用新型的研磨垫调整器清洗装置，在对研磨垫整理器清洗时，通过调整臂将调整件升至所述清洗杯的上方，由喷嘴持续向研磨垫调整器的表面喷射清洗液，同时配合第一清洗刷和第二清洗刷分别对研磨垫调整器的调整件和调整臂的洗刷，将粘附在调整件和调整臂上的污染物都清洗掉。避免了现有技术中通过摩擦调整件的表面清洗其本身，且调整臂上粘附的污染物仍然存留的现象，进而延长了调整件的使用寿命，提高了产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 调整器 清洗 装置 化学 机械 | ||
【主权项】：
一种研磨垫调整器清洗装置，其特征在于，包括：清洗杯、固定于所述清洗杯的壁上的喷嘴、及固定于所述清洗杯上的第一清洗刷和第二清洗刷；所述第一清洗刷包括：第一滚轴、设置于所述第一滚轴上的刷毛、及与所述第一滚轴相连的第一驱动装置。
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