[实用新型]一种硅片化学清洗用花篮

摘要

本实用新型涉及硅片化学清洗工具领域，具体涉及一种硅片化学清洗用花篮。它包括框架、卡片槽，框架是长方形框架，框架两侧是半圆形开口槽口，框架中间是卡片槽，每个卡片槽通过条形隔板隔开，框架下端开有长方形槽口即卡片槽下端开有长方形槽口，所述的长方形槽口内设计装有井字形状的防护肋骨，长方形槽口内部开有四个圆孔，防护肋骨两端固定在圆孔内。优点是设计简单，使用方便，花篮底部设计防护肋骨，可以有效的防止硅片碎裂掉落到化学清洗处理池内，卡片槽有效地防止硅片粘在一起，卡片槽设计成25片装，可以在化学清洗处理槽内放置两个花篮，正好把化学清洗处理槽内空间充分利用，提高工作效率。

主权项

一种硅片化学清洗用花篮，其特征是它包括框架、卡片槽，框架是长方形框架，框架两侧是半圆形开口槽口，框架中间是卡片槽，每个卡片槽通过条形隔板隔开，框架下端开有长方形槽口即卡片槽下端开有长方形槽口，所述的长方形槽口内设计装有井字形状的防护肋骨，长方形槽口内部开有四个圆孔，防护肋骨两端固定在圆孔内。