[实用新型]一种硅片化学清洗用花篮

说明书

技术领域

本技术领域涉及硅片化学清洗工具领域，具体涉及一种硅片化学清洗用花篮。

背景技术

硅片在化学清洗处理中会有少量发生碎裂，产生一定数量的外形不完整硅片，这些外形不完整硅片现有花篮无法适应，置于现花篮中处理时易掉落、易碎、易互粘。而且硅片放到花篮内，再置于化学清洗处理槽内，只能放一组花篮，放两组花篮就不好放，放一组的话效率就低了，而且化学清洗处理槽内没有充分利用。

发明内容

为了解决上述发明问题，本实用新型提出了一种硅片化学清洗用花篮，设计简单，使用方便，有效防止硅片相互粘在一起，防止碎裂后掉入化学清洗处理槽内，不好打捞。

为了达到上述发明目的，本实用新型提出了以下技术方案：

    一种硅片化学清洗用花篮，它包括框架、卡片槽，框架是长方形框架，框架两侧是半圆形开口槽口，框架中间是卡片槽，每个卡片槽通过条形隔板隔开，框架下端开有长方形槽口即卡片槽下端开有长方形槽口，所述的长方形槽口内设计装有井字形状的防护肋骨，长方形槽口内部开有四个圆孔，防护肋骨两端固定在圆孔内。

    所述的硅片化学清洗用花篮是采用特氟纶材料制作。

所述的卡片槽有25片。

所述的框架上面两端还设计有提手卡槽。

本实用新型的优点是设计简单，使用方便，花篮底部设计防护肋骨，可以有效的防止硅片碎裂掉落到化学清洗处理池内，卡片槽有效地防止硅片粘在一起，卡片槽设计成25片装，可以在化学清洗处理槽内放置两个花篮，正好把化学清洗处理槽内空间充分利用，提高工作效率。

附图说明

图1是本实用新型的示意图。

图2是本实用新型的侧视图。

具体实施方式

为了对本实用新型进一步说明，下面结合说明书附图来介绍：

    参照附图1和图2，一种硅片化学清洗用花篮，它包括框架1、卡片槽2，框架1是长方形框架，框架两侧是半圆形开口槽口，框架1中间是卡片槽2，每个卡片槽2通过条形隔板3隔开，框架1下端开有长方形槽口即卡片槽下端开有长方形槽口，所述的长方形槽口内设计装有井字形状的防护肋骨4，长方形槽口内部开有四个圆孔5，防护肋骨4两端固定在圆孔内。

    所述的硅片化学清洗用花篮是采用特氟纶材料制作。

所述的卡片槽有25片。

    所述的框架上面两端还设计有提手卡槽6。

本实用新型使用时，把圆形硅片放置到花篮的卡片槽内，然后用提手把花篮放置到化学清洗处理槽内，本花篮设计结构与长度，可以在化学清洗处理槽内正好放置两个花篮，工作效率提高一倍，同时还节省了成本，花篮下端设计的防护肋骨可以防止硅片碎裂一半不好放置到卡片槽内，或者硅片在清洗过程中碎裂从下面掉到清洗池内，最后通过放水孔排掉或堵塞放水孔，造成成本加大，还要处理堵塞的水孔，浪费时间。