[实用新型]一种立式热处理设备的测温装置有效
| 申请号： | 201420234698.9 | 申请日： | 2014-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN203949735U | 公开（公告）日： | 2014-11-19 |
| 发明（设计）人： | 赵燕平;刘慧;孙少东;王艾 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01K7/02 | 分类号： | G01K7/02 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李迪 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种立式热处理设备的测温装置，通过将控温热偶(3)、超温热偶(4)布置在绝缘子(2)两侧，或者同一侧不同水平高度，使得加热丝(1)与热偶距离保持相对稳定，从而提高测温装置的精度，避免热偶的破坏。可以广泛应用于半导体生产线上，具体可使用于给硅片进行氧化、退火等热处理过程中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 立式 热处理 设备 测温 装置 | ||
【主权项】：
一种立式热处理设备的测温装置，包括加热丝(1)、绝缘子(2)、热偶，其特征在于，所述热偶包括控温热偶(3)、超温热偶(4)，控温热偶(3)、超温热偶(4)位于绝缘子的一侧，且处于不同水平高度；或者所述控温热偶(3)、超温热偶(4)位于绝缘子的两侧。
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