[实用新型]一种立式热处理设备的测温装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体生产线上的立式热处理设备，尤其涉及其内部的测温装置。

背景技术

立式热处理设备是给硅片进行氧化、退火等热处理工艺的半导体设备，常应用于半导体生产线上。为了监控生产过程中加工环境，需要在热处理设备上安装测温装置。

常规的热处理设备上的热偶安装位置如图1所示，即将一组热偶安放在加热丝与绝缘子围成的区域中间。采用这种安装位置时，通常会因为重力及加热丝工作后的热应变等原因，造成加热丝的变形，使加热丝与热偶距离减小，甚至导致加热丝与热偶接触。这样的安装方式严重影响了温度测量的精度，更有甚者对热偶造成了破坏。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题就是如何解决现有立式热处理设备的测温装置的温度测量的精度低，破坏热偶的问题。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种立式热处理设备的测温装置，包括加热丝、绝缘子、热偶，其特征在于，所述热偶包括控温热偶、超温热偶，控温热偶、超温热偶位于绝缘子的一侧，且处于不同水平高度；

或者所述控温热偶、超温热偶位于绝缘子的两侧。

优选地，所述控温热偶、超温热偶位于绝缘子的两侧，且所述控温热偶、超温热偶位于同一水平高度。

优选地，所述控温热偶、超温热偶位于绝缘子的一侧，所述控温热偶布置在所测温区的中部，超温热偶布置在所测温区中控温热偶的上方或下方。

优选地，所述控温热偶、超温热偶位于所测温区的中部。

(三)有益效果

本实用新型的一种立式热处理设备的测温装置，通过将控温热偶、超温热偶布置在绝缘子两侧，或者同一侧不同水平高度，使得加热丝与热偶距离保持相对稳定，从而提高测温装置的精度，避免热偶的破坏。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1：现有立式热处理设备的测温装置的结构示意图；

图2：本实用新型提供的一种立式热处理设备的测温装置的结构示意图；

图3：本实用新型提供的一种立式热处理设备的测温装置的结构示意图；

图中：1、加热丝；2、绝缘子；3、控温热偶；4、超温热偶；

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。

实施例1，提供了一种立式热处理设备的测温装置，包括加热丝1、绝缘子2、热偶，所述热偶包括控温热偶3、超温热偶4，控温热偶3、超温热偶4位于绝缘子2的一侧，且处于不同水平高度，如图2所示，1是加热丝，2是绝缘子，3是控温热偶，4是超温热偶。两根热偶竖直布置在绝缘子的一侧，控温热偶3布置在所测温区的中部，超温热偶4布置在所测温区中控温热偶的下方。选择这种安装位置，热偶贴近绝缘子，有绝缘子支撑着加热丝，可以保证控温热偶3测量的准确性，又可以保证加热丝1变形时不会影响到热偶。

实施例2，提供了一种立式热处理设备的测温装置，包括加热丝1、绝缘子2、热偶，所述热偶包括控温热偶3、超温热偶4，所述控温热偶3、超温热偶4位于绝缘子的两侧，且处于同一水平高度，如图3所示，1是加热丝，2是绝缘子，3是控温热偶，4是超温热偶。由于温度在竖直方向上有较明显的梯度变化，而在同一水平方向上的均匀性较好，所以若要求两根热偶为一组且要求两者测温条件相同的情况，则使用本实用新型第二种安装位置。两根热偶同水平安装在所测温区中部，布置在绝缘子2两侧。选择这种安装位置，大大降低了同组热偶测温的条件差异，热偶贴近绝缘子2，有绝缘子2支撑着加热丝1，即保证控温热偶3温度测量的准确性又能保证超温热偶4及时发现超温现象，还能保证加热丝1变形时不同热偶发生接触。

以上实施方式仅用于说明本实用新型，而非对本实用新型的限制。尽管参照实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，对本实用新型的技术方案进行各种组合、修改或者等同替换，都不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。