[实用新型]一种晶圆清洗装置

摘要

本实用新型提供一种晶圆清洗装置，至少包括：晶圆及位于其上表面的清洁主体；穿过该清洁主体上、下表面的第一、第二通孔；位于该清洁主体上表面的第一、第二通孔一端分别连接有注水泵和抽水泵；穿过清洁主体上表面且不穿过其下表面的气体注入孔；所述气体注入孔连接有气泵；穿过清洁主体下表面且与气体注入孔贯通的环形封闭槽；该环形封闭槽围绕所述第一、第二通孔；所述清洁主体下表面与晶圆上表面之间设有空隙；由环形封闭槽围成的水平面区域与所述空隙构成的液体腔；所述第一、第二通孔另一端与所述液体腔贯通。本实用新型将所述清洁主体增加注水孔和出水孔形成液体循环系统，可以有效提高晶圆表面的清洁效果，并提高产品的制造良率。

主权项

一种晶圆清洗装置，其特征在于，该装置至少包括：晶圆以及位于所述晶圆上表面且具有上、下表面的清洁主体；穿过所述清洁主体上、下表面的第一、第二通孔；所述位于清洁主体上表面的第一、第二通孔一端分别连接有注水泵和抽水泵；所述第一、第二通孔中注有液体；穿过所述清洁主体上表面且不穿过其下表面的气体注入孔；所述气体注入孔连接有气泵并注有气体；穿过所述清洁主体下表面且与所述气体注入孔贯通的环形封闭槽；所述环形封闭槽围绕所述第一、第二通孔；所述清洁主体下表面与所述晶圆上表面之间设有空隙；由所述环形封闭槽围成的水平面区域与所述空隙构成的液体腔；所述第一、第二通孔另一端与所述液体腔贯通。