[实用新型]一种干燥设备有效
| 申请号： | 201420101067.X | 申请日： | 2014-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN203731821U | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 金滕滕;杨勇 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | F26B15/20 | 分类号： | F26B15/20;F26B25/16;F26B21/14;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种干燥设备，所述干燥设备至少包括：四个垂直排布的腔体，所述四个腔体分别为：位于底部的第一腔体，所述第一腔体上设有第一温度传感器；连接于所述第一腔体上方的第二腔体，所述第二腔体上设有第二温度传感器、压力传感器以及真空泵；连接于所述第二腔体上方的第三腔体，所述第三腔体上设置有吹气装置及排气装置；连接于所述第三腔体上方的第四腔体；所述四个腔体以可平移的三块隔板隔开，通过所述各隔板的移动实现所述四个腔体的连通或关闭。本实用新型的干燥设备能有效防止异丙醇蒸气的高温使光刻胶熔化而出现剥落的现象，避免了光刻图案的损毁，保证后续工艺的正常进行，同时干燥效果大大提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 干燥设备 | ||
【主权项】：
一种干燥设备，其特征在于，所述干燥设备至少包括：四个垂直排布的腔体，所述四个腔体分别为：位于底部的第一腔体，所述第一腔体上设有第一温度传感器；连接于所述第一腔体上方的第二腔体，所述第二腔体上设有第二温度传感器、压力传感器以及真空泵；连接于所述第二腔体上方的第三腔体，所述第三腔体上设置有吹气装置及排气装置；连接于所述第三腔体上方的第四腔体；所述四个腔体由可平移的三块隔板隔开，通过所述各隔板的移动实现所述四个腔体的连通或关闭。
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