[实用新型]一种干燥设备

权利要求书

1.一种干燥设备，其特征在于，所述干燥设备至少包括：四个垂直排布的腔体，所述四个腔体分别为：位于底部的第一腔体，所述第一腔体上设有第一温度传感器；连接于所述第一腔体上方的第二腔体，所述第二腔体上设有第二温度传感器、压力传感器以及真空泵；连接于所述第二腔体上方的第三腔体，所述第三腔体上设置有吹气装置及排气装置；连接于所述第三腔体上方的第四腔体；所述四个腔体由可平移的三块隔板隔开，通过所述各隔板的移动实现所述四个腔体的连通或关闭。 

2.根据权利要求1所述的干燥设备，其特征在于：还包括与各该隔板连接用于实现各隔板移动的伸缩装置。 

3.根据权利要求1所述的干燥设备，其特征在于：还包括连接于所述各腔体内用于实现晶圆在各腔体中转移的晶圆传送装置。 

4.根据权利要求1所述的干燥设备，其特征在于：所述第一腔体包括用于盛装液体的器皿和加热设备。 

5.根据权利要求4所述的干燥设备，其特征在于：所述器皿中盛放的液体为晶圆清洗液。 

6.根据权利要求1所述的干燥设备，其特征在于：所述第二腔体采用抗压材质的容器壁。 

7.根据权利要求1所述的干燥设备，其特征在于：所述吹气装置给所述第三腔体吹入的气体为N₂。 

8.根据权利要求1所述的干燥设备，其特征在于：所述第一腔体的加热温度设定为80℃～100℃。 

9.根据权利要求1所述的干燥设备，其特征在于：所述第二腔体中的蒸气温度为24℃～60℃。 

10.根据权利要求1所述的干燥设备，其特征在于：所述第二腔体的的腔体压强设定为3.03×10⁴Pa～7.575×10⁴Pa。