[实用新型]单点锑蒸发装置有效

专利信息
申请号: 201420093588.5 申请日: 2014-03-03
公开(公告)号: CN203728920U 公开(公告)日: 2014-07-23
发明(设计)人: 章振昂;吴明康;王新军;张丹 申请(专利权)人: 上海泰雷兹电子管有限公司
主分类号: C23C14/14 分类号: C23C14/14;C23C14/24
代理公司: 上海硕力知识产权代理事务所 31251 代理人: 童素珠
地址: 200444 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种涉及光电阴极产品领域,尤指一种应用于光电阴极制作时的光电阴极蒸发器,用于光电阴极制作中蒸发器结构改进的单点锑蒸发装置。本实用新型通过T形真空玻璃管组件和滑动组件两部分组成,滑动组件能在磁场力的作用下,在T形真空玻璃管中的滑动,所用的磁场由普通的磁铁产生,磁场的方向与滑块的移动方向一致;主要解决如何改进T形真空玻璃管组件和滑动组件两部分的结构等有关技术问题。本实用新型的有益效果是:单点T蒸发装置与排气口共用一个通道,减少了接口,提高了工艺制作和产品的可靠性,具有结构合理、使用方便、蒸发量易于控制及提高了产品质量等优点。
搜索关键词: 单点 蒸发 装置
【主权项】:
一种单点锑蒸发装置,包括影像增强器、高真空排气台及其光电阴极,其特征在于还包括:由T形真空玻璃管组件(1)和滑动组件(2)两部分组成单点锑蒸发装置,滑动组件(2)设置在T形真空玻璃管组件(1)内,并在外磁场力的作用下,在T形真空玻璃管组件(1)中滑动,该装置至少包括:T形真空玻璃管组件(1)结构包括:导电圆导轨(3)、端口A(4)和端口B(5),两根导电圆导轨(3)设置在T形真空玻璃管组件(1)中,并与玻璃管烧结固定后引出,导电圆导轨(3)与滑动组件(2)组成了锑蒸发导电回路,T形真空玻璃管组件(1)的一端口A(4)与高真空排气台的一端口相互连接,另一端口B(5)与影像增强器的端口相互连接;滑动组件(2)结构包括:滑动部分(6)、蒸发舟支撑与导电杆(7)、蒸发舟部分(8)和螺丝(9),蒸发舟支撑与导电杆(7)的一端插入滑动部分(6),用螺丝(9)相互固定连接,蒸发舟支撑与导电杆(7)的另一端与蒸发舟部分(8)相互固定连接。
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