[实用新型]单点锑蒸发装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及光电阴极产品领域，尤指一种主要应用于光电阴极制作时的光电阴极蒸发器，用于光电阴极制作中蒸发器结构的改进装置，是保证产品的真空度，提高阴极质量和延长产品使用寿命的一种改进型的锑蒸发装置。

背景技术

锑在光电阴极的制作中，是一种重要合成元素。在制作阴极时主要是采用电加热后的溅射方法获得。蒸发量的大小以及均匀性将直接影响生成后的光电阴极的质量。虽然蒸发的原理大致是相同的，但各类蒸发结构差异是较大的，且各有千秋，所以不同的蒸发结构对阴极制作会产生不同的影响。人们对结构合理、使用方便、蒸发量易于控制以及对制成后阴极质量期望等提出了比较高的要求，这些都是锑蒸发装置必须考虑的因素。

发明内容

为了克服上述不足之处，本实用新型的主要目的旨在提供一种改进型的锑蒸发装置，该装置通过T形真空玻璃管组件和滑动组件两部分组成，滑动组件能在磁场力的作用下，在T形真空玻璃管中的滑动，所用的磁场由普通的磁铁产生，磁场的方向与滑块的移动方向一致；该装置通过通道、端口和导电圆导轨的改进，实现接口的减少，提高了工艺制作和产品的可靠性；通过端口与排气台的端口连接，端口与影像增强器端口连接，使得真空系统可以对影像增强器进行真空排气，以便在影像增强器内建成一个只做阴极的真空环境，达到结构合理、使用方便以及对蒸发量易于控制的单点锑蒸发装置。

本实用新型要解决的技术问题是：主要解决如何改进T形真空玻璃管组件和滑动组件两部分的结构问题；要解决导电圆导轨的结构等有关技术问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：该装置包括影像增强器、高真空排气台及其光电阴极等部件，还包括：由T形真空玻璃管组件和滑动组件两部分组成单点锑蒸发装置，滑动组件设置在T形真空玻璃管组件内，并在外磁场力的作用下，在T形真空玻璃管组件中滑动，该装置至少包括：

T形真空玻璃管组件结构包括：导电圆导轨、端口A和端口B，两根导电圆导轨设置在T形真空玻璃管组件中，并与玻璃管烧结固定后引出，导电圆导轨与滑动组件组成了锑蒸发导电回路，T形真空玻璃管组件的一端口A与高真空排气台的一端口相互连接，另一端口B与影像增强器的端口相互连接；

滑动组件结构包括：滑动部分、蒸发舟支撑与导电杆、蒸发舟部分和螺丝，蒸发舟支撑与导电杆的一端插入滑动部分，用螺丝相互固定连接，蒸发舟支撑与导电杆的另一端与蒸发舟部分相互固定连接。

进一步的，所述的单点锑蒸发装置的影像增强器与高真空排气台连接，为真空排气结构。

进一步的，所述的单点锑蒸发装置的导电圆导轨设为导轨和导电杆结构，其材质为钼材料制成。

进一步的，所述的单点锑蒸发装置的滑动部分结构包括：外导电层、滑块、瓷管A、瓷管B、内导电杆、内导电滑套、压缩弹簧、连接件、圆瓷片、外导电滑套、蒸发舟、固定连接件、瓷管C和瓷管D，其中：

蒸发舟支撑与导电杆连接蒸发舟，并向其提供加热电流，加热部分由内导电杆、外导电层和瓷管B、瓷管C和瓷管D组成，内导电杆和外导电层在锑蒸发部分通过蒸发舟固定连接件与蒸发舟相互电连接，滑动部分的压缩弹簧通过内导电杆为蒸发舟提供涨紧力，压缩弹簧与两片圆瓷片固定连接，且其间为绝缘结构；

蒸发舟支撑与导电杆套在滑块的中心圆孔内，并用螺丝固定连接；

连接件分别与内导电滑套、内导电杆点焊连接，内导电滑套与瓷管A之间为滑动结构，瓷管A将内导电滑套与滑块之间为绝缘结构；

外导电滑套与滑块是焊接固定结构，外导电滑套与内导电滑套分别套在两根导电圆导轨上，在外磁场的作用下，为自由滑动结构。

进一步的，所述的单点锑蒸发装置的滑动组件通过内导电滑套和外导电滑套，分别套在两根导电圆导轨上，并为来回移动结构，电流施加在T形真空玻璃管组件的两根导电圆导轨的外端，其导电传导路径分为内导电电流路径和外导电电流路径，其中：

内导电电流路径的电信号依次经由内导电滑套、内导电杆与内导电滑套连接件、内导电杆、蒸发舟固定连接件的一端与锑蒸发舟的一端相互电连接，并通过信号传递形成电回路；

外导电电流路径的电信号依次经由外导电滑套、滑块、外导电层、蒸发舟固定连接件的另一端与锑蒸发舟的另一端相互电连接，并通过信号传递形成电回路。