[实用新型]真空涂覆设备的工件支架有效
申请号: | 201420061060.X | 申请日: | 2014-02-10 |
公开(公告)号: | CN203700493U | 公开(公告)日: | 2014-07-09 |
发明(设计)人: | 刘双良;雷志钵 | 申请(专利权)人: | 东莞市华星纳米科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/50 |
代理公司: | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 | 代理人: | 高之波;邬玥 |
地址: | 523570 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种真空涂覆设备的工件支架,包括与真空涂覆设备顶盖固定相连的支撑座、与支撑座活动连接的公转盘、与公转盘通过轴承活动连接的工件杆、与工件杆固定相连的第一链轮以及与支撑座固定连接的固定盘,其中第一链轮与工件杆套接,该固定盘的周围固定连接有第一链条,其与第一链轮相匹配。本实用新型真空涂覆设备的工件支架具有结构简单和成本低的特点。 | ||
搜索关键词: | 真空 设备 工件 支架 | ||
【主权项】:
真空涂覆设备的工件支架,其特征在于,包括与真空涂覆设备顶盖固定相连的支撑座(1)、与支撑座(1)活动连接的公转盘(2)、与公转盘(2)通过轴承(7)活动连接的工件杆(3)、与工件杆(3)固定相连的第一链轮(4)以及与支撑座(1)固定连接的固定盘(5),所述第一链轮(4)与工件杆(3)套接,所述固定盘(5)的周围固定连接有第一链条(51),其与第一链轮(4)相匹配。
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