[实用新型]真空涂覆设备的工件支架有效

专利信息
申请号: 201420061060.X 申请日: 2014-02-10
公开(公告)号: CN203700493U 公开(公告)日: 2014-07-09
发明(设计)人: 刘双良;雷志钵 申请(专利权)人: 东莞市华星纳米科技有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/50
代理公司: 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 代理人: 高之波;邬玥
地址: 523570 广东省东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 真空 设备 工件 支架
【权利要求书】:

1.真空涂覆设备的工件支架,其特征在于,包括与真空涂覆设备顶盖固定相连的支撑座(1)、与支撑座(1)活动连接的公转盘(2)、与公转盘(2)通过轴承(7)活动连接的工件杆(3)、与工件杆(3)固定相连的第一链轮(4)以及与支撑座(1)固定连接的固定盘(5),所述第一链轮(4)与工件杆(3)套接,所述固定盘(5)的周围固定连接有第一链条(51),其与第一链轮(4)相匹配。

2.根据权利要求1所述的真空涂覆设备的工件支架,其特征在于,还包括第二链轮(6),所述第二链轮(6)与电机的输出轴套接且固定连接,所述公转盘(2)包括主动公转盘(21)和从动公转盘(22),所述从动公转盘(22)与工件杆(3)通过轴承(7)活动连接,所述主动公转盘(21)的周围固定连接有第二链条(211),其与第二链轮(6)相匹配。

3.根据权利要求1或2所述的真空涂覆设备的工件支架,其特征在于,所述工件杆(3)包括固定杆(31)和与固定杆相连的挂件杆(32),所述第一链轮(4)与固定杆(31)固定连接,所述公转盘(2)与固定杆(31)通过轴承(7)活动连接。

4.根据权利要求3所述的真空涂覆设备的工件支架,其特征在于,所述公转盘(2)上设有与固定杆(31)相对应的安装筒(23),其与固定杆(31)通过轴承(7)活动连接。

5.根据权利要求4所述的真空涂覆设备的工件支架,其特征在于,所述固定杆(31)上设有第一卡位(311)和轴套(312),所述安装筒(23)的下端设有第二卡位(231),所述轴承(7)包括第一轴承(71)、第二轴承(72)和第三轴承(73),所述第一轴承(71)位于第一卡位(311)和第二卡位(231)之间,所述轴套(312)与固定杆(31)套接,所述第二轴承(72)和第三轴承(73)分别位于轴套(312)的两侧,所述第二轴承(72)位于第一卡位(311)和轴套(312)之间。

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