[实用新型]一种非接触式锥光全息测量系统

摘要

本实用新型公开了一种基于相位-高度法的高精度非接触式锥光全息测量系统，包括有发射激光束的激光系统、将经过扩束准直系统的激光光束汇聚到被测物一点的光反射系统、收集返回光的光接收系统和偏振分光棱镜；光反射系统包含有沿激光束前进线路上排布的光阑、λ/4玻片和物镜；光接收系统在光的传播路线上有双折射晶体、偏振片和光学照相装置，光学照相装置与计算机相连；激光系统包括激光光源和λ/2玻片，激光光源下方的扩束准直系统包括扩束器和准直透镜。本实用新型设计合理，结构简单，实用于尺寸为10¹～10²mm的常见工业零部件表面高度信息的测量；能够综合利用数字图像处理技术和光学全息技术，进一步提高产品的测量精度。

主权项

一种非接触式锥光全息测量系统，包括有发射激光束的激光系统、将经过扩束准直系统（4）的激光光束汇聚到被测物（9）一点的光反射系统、收集返回光的光接收系统和偏振分光棱镜（5），其特征在于，所述的光反射系统包含有沿激光束前进线路上排布的光阑（6）、λ/4玻片（7）和物镜（8）；光接收系统在光的传播路线上有双折射晶体（10）、偏振片（11）和光学照相装置（12）；所述的光阑（6）和双折射晶体（10）位于偏振分光棱镜（5）的两侧。