[实用新型]一种非接触式锥光全息测量系统

权利要求书

1.一种非接触式锥光全息测量系统，包括有发射激光束的激光系统、将经过扩束准直系统（4）的激光光束汇聚到被测物（9）一点的光反射系统、收集返回光的光接收系统和偏振分光棱镜（5），其特征在于，所述的光反射系统包含有沿激光束前进线路上排布的光阑（6）、λ/4玻片（7）和物镜（8）；光接收系统在光的传播路线上有双折射晶体（10）、偏振片（11）和光学照相装置（12）；所述的光阑（6）和双折射晶体（10）位于偏振分光棱镜（5）的两侧。

2.根据权利要求1所述的测量系统，其特征在于，所述测量系统还包括一个与光学照相装置（12）相连的计算机（1）。

3.根据权利要求1所述的测量系统，其特征在于，所述的激光系统位于扩束准直系统（4）的上方，包括激光光源（2）和激光光源（2）下方的λ/2玻片（3）；所述的激光光源（2）为带温控设备的激光光源。

4.根据权利要求1所述的测量系统，其特征在于，所述的扩束准直系统（4）由扩束器（41）和准直透镜（42）组成。

5.根据权利要求1所述的测量系统，其特征在于，所述的光学照相装置（12）是以电荷耦合器件作为光敏感器和光电转换器的高分辨率CCD。