[实用新型]一种用于研磨垫的清洁装置有效
| 申请号： | 201420042220.6 | 申请日： | 2014-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN203696758U | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 唐强;马智勇 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于研磨垫的清洁装置，至少包括：金刚石清洁盘；所述金刚石清洁盘表面具有用于清除所述研磨垫表面及其沟槽中残留物的若干金刚石颗粒；所述若干金刚石颗粒按其在所述金刚石清洁盘上所占面积的不同分为不同种类的金刚石颗粒；所述每种金刚石颗粒均以其排列所构成的曲线或直线轨迹彼此交替地分布在所述金刚石清洁盘的表面。采用不同种类的金刚石颗粒相互组合用于清洁所述研磨垫沟槽或研磨垫表面的残留物，会使得所述种类不同的金刚石颗粒与所述研磨垫的沟槽以及表面形成充分接触，从而有效的将所述研磨垫表面以及沟槽中的残留物彻底清除。本实用新型具有成本小而且易操作等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 研磨 清洁 装置 | ||
【主权项】：
一种用于研磨垫的清洁装置，其特征在于，所述清洁装置至少包括：金刚石清洁盘；所述金刚石清洁盘表面具有用于清除所述研磨垫表面及其沟槽中残留物的若干金刚石颗粒；所述若干金刚石颗粒按其在所述金刚石清洁盘上所占面积的不同分为不同种类的金刚石颗粒；所述每种金刚石颗粒均以其排列所构成的曲线或直线轨迹彼此交替地分布在所述金刚石清洁盘的表面。
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