[实用新型]一种用于气体预热与气体分配的组合工装

摘要

一种用于气体预热与气体分配的组合工装，多个具有多个气流孔的外孔气流扰动板和多个具有多个气流孔的多层内孔气流扰动板依次间隔的叠放在底板的上表面。外孔气流扰动板和内孔气流扰动板叠放的层数与根据沉积炉中的气体流量叠放2～5层。通气面板置于位于顶层的内孔气流扰动板的上表面。在通气面板的上表面安装有分流面板。多个料柱套分别放置在分流面板上表面的料柱套安装孔内，支撑板安放在各料柱套上端面。本实用新型克服了由于目标气体预热之后中心气体温度高于周边气体温度，从而导致预制产品中心密度高于外围密度，使预置体内部形成致密层，从而使得预制产品无法很好的进行渗透性沉积的缺陷。

主权项

一种用于气体预热与气体分配的组合工装，其特征在于，包括垫板（1）、底板（2）、外孔气流扰动板（3）、内孔气流扰动板（4）、通气面板（5）、分流面板（6）、料柱套（7）和支撑板（8）；其中，垫板（1）安放在炉体基座的上表面；底板（2）安放在垫板（1）的上表面；多个具有多个气流孔的外孔气流扰动板（3）和多个具有多个气流孔的多层内孔气流扰动板（4）依次间隔的叠放在底板（2）的上表面；所述的外孔气流扰动板和内孔气流扰动板（4）叠放的层数与根据沉积炉中的气体流量叠放2～5层；所述外孔气流扰动板与内孔气流扰动板（4）的数量相同；通气面板（5）置于位于顶层的内孔气流扰动板（4）的上表面；在通气面板（5）的上表面安装有分流面板（6）；多个料柱套分别放置在分流面板（6）上表面的料柱套安装孔内；所述料柱套的数量根据料柱的数量确定，支撑板（8）安放在各料柱套（7）上端面。