[实用新型]一种用于气体预热与气体分配的组合工装

权利要求书

1.一种用于气体预热与气体分配的组合工装，其特征在于，包括垫板（1）、底板（2）、外孔气流扰动板（3）、内孔气流扰动板（4）、通气面板（5）、分流面板（6）、料柱套（7）和支撑板（8）；其中，垫板（1）安放在炉体基座的上表面；底板（2）安放在垫板（1）的上表面；多个具有多个气流孔的外孔气流扰动板（3）和多个具有多个气流孔的多层内孔气流扰动板（4）依次间隔的叠放在底板（2）的上表面；所述的外孔气流扰动板和内孔气流扰动板（4）叠放的层数与根据沉积炉中的气体流量叠放2～5层；所述外孔气流扰动板与内孔气流扰动板（4）的数量相同；通气面板（5）置于位于顶层的内孔气流扰动板（4）的上表面；在通气面板（5）的上表面安装有分流面板（6）；多个料柱套分别放置在分流面板（6）上表面的料柱套安装孔内；所述料柱套的数量根据料柱的数量确定，支撑板（8）安放在各料柱套（7）上端面。

2.如权利要求1所述用于气体预热与气体分配的组合工装，其特征在于，叠放外孔气流扰动板（3）和内孔气流扰动板（4）时，当气体流量≤1500L/h时，外孔气流扰动板和内孔气流扰动板的叠放层数为2层；当气体流量1500L/h～2500L/h时，外孔气流扰动板和内孔气流扰动板的叠放层数为3层；当气体流量≥2500L/h时，外孔气流扰动板和内孔气流扰动板的叠放层数为4层或者5层。

3.如权利要求1所述用于气体预热与气体分配的组合工装，其特征在于，所述底板（2）的上表面有气流槽，该气流槽的直径比底板外径小20mm，气流槽深度为4～8mm；在底板的中心有底板气流通孔，该底板气流通孔的孔径为80～100mm。

4.如权利要求1所述用于气体预热与气体分配的组合工装，其特征在于，所述外孔气流扰动板（3）上表面有深度为4～8mm的气流流动槽；在所述外孔气流扰动板（3）的下表面中心有轴向凸出的凸台，该凸台的外径与底板（2）上表面气流槽的直径相同，并通过嵌套的方式装入底板上表面气流槽内；在所述外孔气流扰动板（3）上表面的气流流动槽内的外缘均布有若干贯通的外孔气流扰动气流孔，并且所述若干外孔气流扰动气流孔在气流流动槽内环形分布；所述外孔气流扰动气流孔的孔径为10～20mm，相邻外孔气流扰动气流孔之间的中心距为40～60mm；所述气流流动凹槽内分布有气流孔部分与实体部分的表面积比＝1：0.8。

5.如权利要求1所述用于气体预热与气体分配的组合工装，其特征在于，所述在所述内孔气流扰动板（4）上表面有气流流动槽，该气流流动槽的深度和直径均与底板（2）上的气流流动凹槽的深度和直径相同；在内孔气流扰动板上表面的气流流动凹槽内分布有若干贯通的内孔气流扰动气流孔，并且所述内孔气流扰动气流孔分布在气流流动凹槽内中部；所述气流流动凹槽内分布有气流孔部分与实体部分的表面积比＝1：0.8；所述内孔气流扰动气流孔的孔径和相邻内孔气流扰动气流孔之间的中心距均与外孔气流扰动板上的外孔气流扰动气流孔的孔径和相邻外孔气流扰动气流孔之间的中心距相同；在内孔气流扰动板（4）的下表面中心亦有轴向凸出的凸台，该凸台的外径与外孔气流扰动板（3）上表面气流流动凹槽的直径相同，并通过嵌套的方式装入外孔气流扰动板上表面气流槽内。

6.如权利要求1所述用于气体预热与气体分配的组合工装，其特征在于，所述在所述通气面板（5）上表面有气流流动凹槽，该气流流动凹槽的深度和直径均与底板（2）上的气流流动凹槽的深度和直径相同；在所述通气面板上表面的气流流动凹槽内均布有若干贯通的通气气流孔；所述通气面板的通气气流孔的孔径和相邻通气气流孔之间的中心距均与外孔气流扰动板（3）上的外孔气流扰动气流孔的孔径和相邻外孔气流扰动气流孔之间的中心距相同；在通气面板的下表面中心亦有轴向凸出的凸台，该凸台装入内孔气流扰动板（4）上表面气流槽内。

7.如权利要求1所述用于气体预热与气体分配的组合工装，其特征在于，所述在该分流面板上均布多个直径为80～120mm的料柱套安装孔；所述料柱套安装孔的数量与产品料柱的数量相同，所述料柱套安装孔的布局与产品料柱的布局相同；各料柱套安装孔均匀分布在通气面板（5）的气流流动凹槽范围内，以保证气体流动的畅通性；在分流面板（6）的下表面中心亦有轴向凸出的凸台，该凸台装入通气面板上表面气流槽内。