[实用新型]晶圆背面清洗装置

摘要

在本实用新型所提供的晶圆背面清洗装置中，通过设置清洗液传导管、清洗液喷头、去离子水传导管、去离子喷头，在对晶圆背面进行清洗操作时，对晶圆背面进行多重不同液体的清洗，确保晶圆背面的微小颗粒彻底的清洗干净，有效的避免了晶圆背面还残留有污染物，提高了产品良率。

主权项

晶圆背面清洗装置，其特征在于，包括：一晶圆托盘、一传送导管、一清洗液喷头、一去离子水喷头、一晶圆清洗刷及一晶圆干燥刷；其中所述传送导管内嵌套一清洗液传送导管及一离子水传送导管；所述清洗液传送导管输入端设置于所述晶圆托盘上，其输出端安装有所述清洗液喷头；所述清洗液喷头的开口垂直朝向所述晶圆托盘，在平行于所述晶圆托盘的平面内，能够沿所述晶圆托盘的直径方向左右扫描；所述去离子水传送导管输入端设置于所述晶圆托盘上，其输出端安装有所述去离子水喷头；所述去离子水喷头的开口垂直朝向所述晶圆托盘，在平行于所述晶圆托盘的平面内，能够沿所述晶圆托盘的直径方向左右扫描；所述晶圆清洗刷及所述晶圆干燥刷均设置于所述晶圆托盘上。