[实用新型]一种光激励光纤光栅悬臂梁谐振子真空度传感器有效
| 申请号： | 201420019098.0 | 申请日： | 2014-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN203745132U | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 邹建宇;刘月明;陈浩;夏忠诚;高晓良 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型是一种光激励光纤光栅悬臂梁谐振子真空度传感器，它属于光纤传感器技术领域。它包括LD光源、光纤定向耦合器、光电探测器、传感探头、匹配液、微加工的光纤光栅、金属镀膜、匹配滤波FBG。本实用新型通过空气阻尼影响器光纤光栅悬臂梁谐振子传感器的品质因数进而影响光纤光栅悬臂梁的谐振幅度，最终改变FBG悬臂梁谐振子传感器反射信号中心波长变化来测量真空度。本实用新型结构简单，抗电磁干扰性能强，可以满足微型化、实时在线分布式和多点监测的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激励 光纤 光栅 悬臂梁 谐振子 真空 传感器 | ||
【主权项】：
一种光激励光纤光栅悬臂梁谐振子真空度传感器，包括LD光源(1)、光纤定向耦合器(2)、光电探测器(3)、传感探头(4)、匹配液(5)、微加工的光纤光栅(6)、金属镀膜(7)、匹配滤波FBG(8)；所述的LD光源(1)与光纤定向耦合器的一端口(100)连接，定向耦合器的二端口(101)连接匹配滤波FBG(8)，光电探测器(3)连接匹配滤波FBG(8)的另一端，光纤定向耦合器的三端口(102)与传感探头(4)连接，光纤定向耦合器的四端口(103)浸入匹配液(5)组成完整的真空度探测系统。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国计量学院，未经中国计量学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420019098.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：基于隔点采集方式的LED显示屏校正方法
- 下一篇：显示屏除尘装置
