[实用新型]一种光激励光纤光栅悬臂梁谐振子真空度传感器有效
| 申请号： | 201420019098.0 | 申请日： | 2014-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN203745132U | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 邹建宇;刘月明;陈浩;夏忠诚;高晓良 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 激励 光纤 光栅 悬臂梁 谐振子 真空 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种光激励光纤光栅悬臂梁谐振子真空度传感器，包括LD光源(1)、光纤定向耦合器(2)、光电探测器(3)、传感探头(4)、匹配液(5)、微加工的光纤光栅(6)、金属镀膜(7)、匹配滤波FBG(8)；所述的LD光源(1)与光纤定向耦合器的一端口(100)连接，定向耦合器的二端口(101)连接匹配滤波FBG(8)，光电探测器(3)连接匹配滤波FBG(8)的另一端，光纤定向耦合器的三端口(102)与传感探头(4)连接，光纤定向耦合器的四端口(103)浸入匹配液(5)组成完整的真空度探测系统。
2.根据权利要求1所述的一种光激励光纤光栅悬臂梁谐振子真空度传感器，其特征在于，所述的光纤光栅悬臂梁谐振子直接在单模光纤的光栅结构基础上，去光栅结构处上半部分包层和部分纤芯，形成截面为D型的光纤光栅悬臂梁谐振子器件结构。
3.根据权利要求1所述的一种光激励光纤光栅悬臂梁谐振子真空度传感器，其特征在于，所述的光纤光栅悬臂梁谐振子首先基于单模光纤端面加工出一段D型悬臂梁，然后再在D型悬臂梁上微加工写入光栅结构，形成光纤光栅悬臂梁谐振子器件结构。
4.根据权利要求1所述的一种光激励光纤光栅悬臂梁谐振子真空度传感器，其特征在于，所述的光纤光栅悬臂梁谐振子表面镀有金属薄膜，镀膜材料为金和铬。
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