[实用新型]液罐和光刻胶剥离设备有效
| 申请号： | 201420003851.7 | 申请日： | 2014-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN203786466U | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | 孙文昌 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;B01D36/02 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种液罐，所述液罐包括主罐，其中，所述液罐还包括过滤装置，所述过滤装置能够对流入所述主罐内的液体进行过滤。本实用新型还提供一种光刻胶剥离设备。在本实用新型中，所述过滤装置能够对流入所述主罐内的液体进行过滤。当所述液罐用作所述光刻胶剥离设备的剥离液罐时，可以对流入所述主罐内的剥离液进行过滤，从而减少剥离液中的光刻胶和其他杂质的含量，减少抽吸泵堵塞及系统停止运行的发生，同时减少基板上的光刻胶残留，进而提高产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 剥离 设备 | ||
【主权项】：
一种液罐，所述液罐包括主罐，其特征在于，所述液罐还包括过滤装置，所述过滤装置能够对流入所述主罐内的液体进行过滤。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司，未经北京京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420003851.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于水体除盐的电生物反应器
- 下一篇：一种切圆孔装置
