[实用新型]液罐和光刻胶剥离设备

权利要求书

1.一种液罐，所述液罐包括主罐，其特征在于，所述液罐还包括过滤装置，所述过滤装置能够对流入所述主罐内的液体进行过滤。

2.根据权利要求1所述的液罐，其特征在于，所述过滤装置包括第一过滤件，该第一过滤件覆盖所述主罐的内腔的截面。

3.根据权利要求2所述的液罐，其特征在于，所述过滤装置还包括成对设置的过滤辊，在每对所述过滤辊中，一个过滤辊可旋转地安装在所述主罐的一侧，另一个过滤辊可旋转地安装在所述主罐的另一侧，所述第一过滤件的一端缠绕在一个所述过滤辊上，另一端缠绕在另一个所述过滤辊上。

4.根据权利要求2所述的液罐，其特征在于，所述过滤装置还包括设置在所述第一过滤件下方的第二过滤件，该第二过滤件覆盖所述主罐的内腔的截面。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的液罐，其特征在于，所述液罐还包括能够对经过所述过滤装置过滤的液体进行成分分析的分析装置、指示装置和控制器，所述分析装置和所述指示装置均与所述控制器电连接，所述指示装置包括第一指示灯、第二指示灯和第三指示灯。

6.根据权利要求5所述的液罐，其特征在于，所述液罐还包括回收罐和设置在所述主罐的罐壁上的出口控制阀，所述出口控制阀与所述控制器电连接，所述回收罐通过所述出口控制阀与所述主罐选择性地连通。

7.根据权利要求6所述的液罐，其特征在于，所述液罐还包括连接在所述主罐和所述回收罐之间的回收泵，该回收泵与所述控制器电连接。

8.根据权利要求6所述的液罐，其特征在于，所述液罐还包括循环泵，所述循环泵的出口和入口均与所述回收罐连通。

9.根据权利要求6所述的液罐，其特征在于，所述液罐还包括抽吸泵和第三过滤件，所述抽吸泵与所述回收罐连通，以对所述回收罐内的液体进行抽取，所述第三过滤件设置在所述回收罐的外部，以过滤从所述抽吸泵出口流出的液体。

10.一种光刻胶剥离设备，该光刻胶剥离设备包括液罐，其特征在于，所述液罐为权利要求1至9中任意一项所述的液罐。