[发明专利]改进的从包含工艺残余物的组合物中回收鎓氢氧化物的方法有效
| 申请号： | 201410840588.1 | 申请日： | 2014-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN104744269B | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 莎伦·黄;隆一乙川 | 申请（专利权）人： | 塞克姆公司 |
| 主分类号： | C07C211/63 | 分类号： | C07C211/63;C07C209/86 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 吴小瑛;张福根 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种从含有鎓离子和工艺残余物的组合物中回收鎓氢氧化物的方法，包括提供含有鎓离子和工艺残余物的组合物；向所述组合物中添加一定量的表面活性剂以获得表面活性剂改性的组合物；提供阳离子交换介质；通过将所述表面活性剂改性的组合物施加至阳离子交换介质来收集鎓离子，其中鎓离子与所述阳离子交换介质结合并且被所述阳离子交换介质保留，而所述工艺残余物和所述表面活性剂不与所述阳离子交换介质结合并且基本上不被所述阳离子交换介质保留；以及通过将含阳离子的氢氧化物组合物施加至所述阳离子交换介质，将鎓离子作为鎓氢氧化物从所述阳离子交换介质中回收。 | ||
| 搜索关键词： | 改进 包含 工艺 残余物 组合 回收 氢氧化物 方法 | ||
【主权项】：
1.一种从含有鎓离子和工艺残余物的组合物中回收鎓氢氧化物的方法，包括：提供含有鎓离子和工艺残余物的组合物，其中所述工艺残余物包含光致抗蚀剂残余物，其中所述鎓离子选自铵、鏻、锍、氧化锍和咪唑鎓；向所述组合物中添加一定量的表面活性剂以获得表面活性剂改性的组合物，其中所述表面活性剂为含羟基的非离子型表面活性剂；提供阳离子交换介质；通过将所述表面活性剂改性的组合物施加至所述阳离子交换介质来收集鎓离子，其中鎓离子与所述阳离子交换介质结合并且被所述阳离子交换介质保留，而所述工艺残余物和所述表面活性剂不与所述阳离子交换介质结合并且基本上不被所述阳离子交换介质保留；以及通过将含阳离子的氢氧化物组合物施加至所述阳离子交换介质，将鎓离子作为鎓氢氧化物从所述阳离子交换介质中回收。
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