[发明专利]改进的从包含工艺残余物的组合物中回收鎓氢氧化物的方法

权利要求书

1.一种从含有鎓离子和工艺残余物的组合物中回收鎓氢氧化物的方法，包括：

提供含有鎓离子和工艺残余物的组合物，其中所述工艺残余物包含光致抗蚀剂残余物，其中所述鎓离子选自铵、鏻、锍、氧化锍和咪唑鎓；

向所述组合物中添加一定量的表面活性剂以获得表面活性剂改性的组合物，其中所述表面活性剂为含羟基的非离子型表面活性剂；

提供阳离子交换介质；

通过将所述表面活性剂改性的组合物施加至所述阳离子交换介质来收集鎓离子，其中鎓离子与所述阳离子交换介质结合并且被所述阳离子交换介质保留，而所述工艺残余物和所述表面活性剂不与所述阳离子交换介质结合并且基本上不被所述阳离子交换介质保留；以及

通过将含阳离子的氢氧化物组合物施加至所述阳离子交换介质，将鎓离子作为鎓氢氧化物从所述阳离子交换介质中回收。

2.根据权利要求1的方法，进一步包括将所述阳离子交换介质装入至少一个容器中。

3.根据权利要求1的方法，进一步包括将阳离子交换介质装入至少两个串联连接的容器中，其中来自所述至少两个容器的第一容器的第一流出物作为进料施加到所述至少两个容器的第二容器中。

4.根据权利要求3的方法，其中在收集过程中，将所述表面活性剂改性的组合物施加至所述第一容器中的所述阳离子交换介质，将所述第一流出物作为进料施加至所述第二容器，并且当在来自所述第二容器的第二流出物中检测到预定的pH变化时，在至少所述第一容器上进行回收。

5.根据权利要求3的方法，其中在收集过程中，将所述表面活性剂改性的组合物施加至所述第一容器中的所述阳离子交换介质，将所述第一流出物作为进料施加至所述第二容器中的所述阳离子交换介质，并将来自所述第二容器的第二流出物作为进料施加至所述至少两个容器的第三容器中的阳离子交换介质，得到第三流出物，持续收集直到在所述第三流出物中检测到预定的pH变化。

6.根据权利要求5的方法，其中在检测到预定的pH变化之后，在至少所述第一容器上进行回收。

7.根据权利要求6的方法，其中在检测到预定的pH变化之后，将所述第三流出物进料至第四容器。

8.根据权利要求1的方法，其中所述鎓为季铵。

9.根据权利要求8的方法，其中所述季铵具有通式(I)：

在式(I)中，R¹、R²、R³和R⁴各自独立地为含1至8个碳原子的烷基。

10.根据权利要求1的方法，其中所述表面活性剂为羟烷基纤维素，其中所述烷基为甲基、乙基、丙基或丁基。

11.根据权利要求1的方法，其中所述表面活性剂为羟乙基纤维素，所述羟乙基纤维素的分子量为10,000至1,000,000。

12.根据权利要求1的方法，其中所述表面活性剂为羟乙基纤维素，所述羟乙基纤维素的分子量为100,000至500,000。

13.根据权利要求1的方法，其中所述含羟基的非离子型表面活性剂是分子量为20,000至2,000,000的聚乙二醇或聚环氧乙烷，或者其中所述表面活性剂是分子量为20,000至2,000,000的聚乙烯醇。

14.根据权利要求1的方法，其中所述表面活性剂为瓜尔胶。