[发明专利]一种光刻胶厚胶坚膜方法在审
| 申请号： | 201410836325.3 | 申请日： | 2014-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN104536268A | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 李海燕;李忠贺;杜红艳 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人： | 田卫平 |
| 地址： | 100015*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种光刻胶厚胶坚膜方法，该方法包括：将光刻胶依次进行多次温度递增的升温处理和保温处理，使所述光刻胶从室温升至65-75℃，并进行降温处理，所述升温处理、所述保温处理和所述降温处理的总时间和为2h。本发明由于采用了梯度升温的方式对光刻胶进行坚膜，使光刻胶由内到外受热均匀，有效避免了现有技术中对厚胶坚膜易变性和变形的问题，并提高了光刻胶的抗性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 胶厚胶坚膜 方法 | ||
【主权项】：
一种光刻胶厚胶坚膜方法，其特征在于，包括：将光刻胶依次进行多次温度递增的升温处理和保温处理，使所述光刻胶从室温最终升至65‑75℃，并进行降温处理，所述升温处理、所述保温处理和所述降温处理的总时间和为1.5‑2.5min。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第十一研究所;，未经中国电子科技集团公司第十一研究所;许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410836325.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
