[发明专利]一种光刻胶厚胶坚膜方法在审

专利信息
申请号: 201410836325.3 申请日: 2014-12-26
公开(公告)号: CN104536268A 公开(公告)日: 2015-04-22
发明(设计)人: 李海燕;李忠贺;杜红艳 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第十一研究所
主分类号: G03F7/16 分类号: G03F7/16
代理公司: 工业和信息化部电子专利中心 11010 代理人: 田卫平
地址: 100015*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 光刻 胶厚胶坚膜 方法
【权利要求书】:

1.一种光刻胶厚胶坚膜方法,其特征在于,包括:

将光刻胶依次进行多次温度递增的升温处理和保温处理,使所述光刻胶从室温最终升至65-75℃,并进行降温处理,所述升温处理、所述保温处理和所述降温处理的总时间和为1.5-2.5min。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述将光刻胶依次进行多次温度递增的升温处理和保温处理,使所述光刻胶从室温最终升至65-75℃,并进行降温处理的步骤具体包括:

对所述光刻胶进行第一阶段升温处理,所述第一阶段升温处理的温度达到45-55℃,并保温20-30min;

将第一阶段升温处理后的所述光刻胶进行第二阶段升温处理,所述第二阶段升温处理的温度达到65-75℃,并保温25-35min后降至室温。

3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,

所述第一阶段升温处理的升温速度为0.5-1℃/s。

4.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,

所述第二阶段升温处理的升温速度为0.5-1℃/s。

5.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,

所述降温处理的降温速度为30-50℃/1min。

6.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,

所述光刻胶的厚度为7-10μm。

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