[发明专利]一种光刻胶厚胶坚膜方法在审
申请号: | 201410836325.3 | 申请日: | 2014-12-26 |
公开(公告)号: | CN104536268A | 公开(公告)日: | 2015-04-22 |
发明(设计)人: | 李海燕;李忠贺;杜红艳 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16 |
代理公司: | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人: | 田卫平 |
地址: | 100015*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光刻 胶厚胶坚膜 方法 | ||
1.一种光刻胶厚胶坚膜方法,其特征在于,包括:
将光刻胶依次进行多次温度递增的升温处理和保温处理,使所述光刻胶从室温最终升至65-75℃,并进行降温处理,所述升温处理、所述保温处理和所述降温处理的总时间和为1.5-2.5min。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述将光刻胶依次进行多次温度递增的升温处理和保温处理,使所述光刻胶从室温最终升至65-75℃,并进行降温处理的步骤具体包括:
对所述光刻胶进行第一阶段升温处理,所述第一阶段升温处理的温度达到45-55℃,并保温20-30min;
将第一阶段升温处理后的所述光刻胶进行第二阶段升温处理,所述第二阶段升温处理的温度达到65-75℃,并保温25-35min后降至室温。
3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,
所述第一阶段升温处理的升温速度为0.5-1℃/s。
4.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,
所述第二阶段升温处理的升温速度为0.5-1℃/s。
5.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,
所述降温处理的降温速度为30-50℃/1min。
6.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,
所述光刻胶的厚度为7-10μm。
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