[发明专利]一种傅里叶变换平面光栅相对衍射效率测试仪

摘要

一种傅里叶变换平面光栅相对衍射效率测试仪属于光谱技术领域，目的在于解决现有技术出射光谱带宽不一致的问题，提高测量精度、简化操作步骤、提高测量效率。本发明的光源模块发出的光依次经入射孔和可选择光阑照射到凹面准直镜C后照射到转台上的参考平面反射镜或待测光栅后经凹面成像镜汇聚于出射孔；出射孔的出射光经离轴准直镜准直、分光立方体A分光、固定角锥体A及运动角锥体A反射后由离轴成像镜汇聚于主探测器；稳频激光器发出的激光经分光立方体B分光、固定角锥体B及运动角锥体B反射，汇聚在参考探测器；运动角锥体A和运动角锥体B一起做匀速直线运动，主探测器进行等光程差数据采集，对采集数据进行光谱还原、相对衍射效率计算。

主权项

一种傅里叶变换平面光栅相对衍射效率测试仪，包括光源模块和测量单色仪，其特征在于，还包括动镜系统(36)、控制系统以及设置在傅里叶光谱测量系统壳体(38)内部的傅里叶光谱测量系统和参考干涉系统；所述测量单色仪包括测量单色仪壳体(25)、设置在测量单色仪壳体(25)上的入射孔(20)和出射孔(24)以及设置在测量单色仪壳体(25)内的可选择光阑(21)、凹面准直镜C(22)、转台(13)和凹面成像镜(23)；所述傅里叶光谱测量系统包括沿光路传输方向依次布置的离轴准直镜(26)、分光立方体A(27)、固定角锥体A(28)、运动角锥体A(29)、离轴成像镜(30)和主探测器(31)；所述参考干涉系统包括稳频激光器(32)、分光立方体B(33)、固定角锥体B(34)、运动角锥体B(35)和参考探测器(37)；所述光源模块发出的光依次经入射孔(20)和可选择光阑(21)照射到凹面准直镜C(22)上，形成平行光，所述平行光照射到布置在转台(13)上的参考平面反射镜(12)或待测光栅(11)后经凹面成像镜(23)汇聚于出射孔(24)，所述傅里叶光谱测量系统设置在所述出射孔(24)的传播方向上；所述出射孔(24)的出射光经90度离轴准直镜(26)准直、分光立方体A(27)分光、固定角锥体A(28)及运动角锥体A(29)反射最终由90度离轴成像镜(30)汇聚于主探测器(31)；稳频激光器(32)发出的激光经分光立方体B(33)分光、固定角锥体B(34)及运动角锥体B(35)反射，最终汇聚在参考探测器(37)；主光路的运动角锥体A(29)与参考光路运动角锥体B(35)相对设置，通过动镜系统(36)带动运动角锥体A(29)和运动角锥体B(35)一起做直线运动，主探测器(31)和参考探测器(37)分别接收并记录随光程差变化的干涉光强；控制系统实时监测并调节动镜系统(36)使其匀速运动，同时控制主探测器(31)进行等光程差数据采集，对采集数据进行光谱还原、相对衍射效率计算。