[发明专利]一种傅里叶变换平面光栅相对衍射效率测试仪

权利要求书

1.一种傅里叶变换平面光栅相对衍射效率测试仪，包括光源模块和测量单色仪，其特征在于，还包括动镜系统(36)、控制系统以及设置在傅里叶光谱测量系统壳体(38)内部的傅里叶光谱测量系统和参考干涉系统；

所述测量单色仪包括测量单色仪壳体(25)、设置在测量单色仪壳体(25)上的入射孔(20)和出射孔(24)以及设置在测量单色仪壳体(25)内的可选择光阑(21)、凹面准直镜C(22)、转台(13)和凹面成像镜(23)；

所述傅里叶光谱测量系统包括沿光路传输方向依次布置的离轴准直镜(26)、分光立方体A(27)、固定角锥体A(28)、运动角锥体A(29)、离轴成像镜(30)和主探测器(31)；

所述参考干涉系统包括稳频激光器(32)、分光立方体B(33)、固定角锥体B(34)、运动角锥体B(35)和参考探测器(37)；

所述光源模块发出的光依次经入射孔(20)和可选择光阑(21)照射到凹面准直镜C(22)上，形成平行光，所述平行光照射到布置在转台(13)上的参考平面反射镜(12)或待测光栅(11)后经凹面成像镜(23)汇聚于出射孔(24)，所述傅里叶光谱测量系统设置在所述出射孔(24)的传播方向上；所述出射孔(24)的出射光经90度离轴准直镜(26)准直、分光立方体A(27)分光、固定角锥体A(28)及运动角锥体A(29)反射最终由90度离轴成像镜(30)汇聚于主探测器(31)；

稳频激光器(32)发出的激光经分光立方体B(33)分光、固定角锥体B(34)及运动角锥体B(35)反射，最终汇聚在参考探测器(37)；

主光路的运动角锥体A(29)与参考光路运动角锥体B(35)相对设置，通过动镜系统(36)带动运动角锥体A(29)和运动角锥体B(35)一起做直线运动，主探测器(31)和参考探测器(37)分别接收并记录随光程差变化的干涉光强；控制系统实时监测并调节动镜系统(36)使其匀速运动，同时控制主探测器(31)进行等光程差数据采集，对采集数据进行光谱还原、相对衍射效率计算。

2.根据权利要求1所述的一种傅里叶变换平面光栅相对衍射效率测试仪，其特征在于，所述光源模块包括钨灯(1)、平面反射镜(19)和聚光镜(3)；所述钨灯(1)的光线经所述平面反射镜(19)反射到所述聚光镜(3)上，再经所述聚光镜(3)反射后，聚焦在所述入射孔(20)。

3.根据权利要求1所述的一种傅里叶变换平面光栅相对衍射效率测试仪，其特征在于，当置换待测光栅(11)时，待测光栅(11)在转台(13)上的位置与参考平面反射镜(12)在转台(13)上的位置相同。

4.根据权利要求1所述的一种傅里叶变换平面光栅相对衍射效率测试仪，其特征在于，所述主探测器(31)位于90度离轴成像镜(30)的焦面上。

5.根据权利要求1所述的一种傅里叶变换平面光栅相对衍射效率测试仪，其特征在于，所述入射孔(20)位于凹面准直镜C(22)的入射光路上，且位于光源模块和凹面准直镜C(22)共同的焦面上；所述出射孔(24)位于凹面成像镜(23)的反射光路上，且位于凹面成像镜(23)和90度离轴准直镜(26)共同的焦面上。

6.根据权利要求1所述的一种傅里叶变换平面光栅相对衍射效率测试仪，其特征在于，所述入射孔(20)的直径为1mm，所述出射孔(24)的直径为2mm。

7.根据权利要求1所述的一种傅里叶变换平面光栅相对衍射效率测试仪，其特征在于，所述测量单色仪布置在所述傅里叶光谱测量系统前。

8.根据权利要求1所述的一种傅里叶变换平面光栅相对衍射效率测试仪，其特征在于，所述参考干涉系统布置在所述傅里叶光谱测量系统一侧。