[发明专利]一种用于制备单光子探测器的自动切片机有效
| 申请号： | 201410815160.1 | 申请日： | 2015-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN104539188A | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 李云;付韬韬;王安定;谢伟民;邢廷文 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | H02N2/02 | 分类号： | H02N2/02;H02N2/04 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高精度压力驱动装置，所述装置包括压电陶瓷(1)、方向导槽(2)、弹性簧片(3)、微位移探测器(4)和安装底座(5)，其中压电陶瓷放置于方向导槽中，方向导槽上端存在一个开孔，压电陶瓷的上端可从开孔中部分伸出，方向导槽下端也存在一个开孔，用于与安装底座连接。压电陶瓷的作用在于实现超微量超快速的位移动作；弹性簧片的作用在于承受压电陶瓷的作用力，并产生相应的弹性形变。所述装置可在作用力输出端存在不断变化的微小位移的情形下，精确快速地输出恒定的作用力。由于本发明装置的直接输出为作用力，且物体形变与作用力成线性关系，因而本装置能够对被控制面进行线性控制，更准确地控制面形。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制备 光子 探测器 自动 切片机 | ||
【主权项】：
一种高精度压力驱动装置，其特征在于包括：压电陶瓷(1)、方向导槽(2)、弹性簧片(3)、微位移探测感器(4)和安装底座(5)；其中压电陶瓷(1)放置于方向导槽(2)中，方向导槽(2)上端存在一个开孔(201)，压电陶瓷(1)的上端(101)可从该开孔(201)中部分伸出，方向导槽(2)下端也存在一个开孔，用于与安装底座(5)连接，压电陶瓷(1)的下接触点(102)与弹性簧片(3)的中间刚性连接，使得弹性簧片(3)接触点能随着压电陶瓷(1)的下触点(102)一起运动，弹性簧片(3)两端可用固定螺丝(301)固定于安装底座(5)上，安装底座(5)上存在一个用于安装微位移探测器(4)的安装孔(504)。
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