[发明专利]一种用于制备单光子探测器的自动切片机

权利要求书

1.一种高精度压力驱动装置，其特征在于包括：压电陶瓷(1)、方向导槽(2)、弹性簧片(3)、微位移探测感器(4)和安装底座(5)；其中压电陶瓷(1)放置于方向导槽(2)中，方向导槽(2)上端存在一个开孔(201)，压电陶瓷(1)的上端(101)可从该开孔(201)中部分伸出，方向导槽(2)下端也存在一个开孔，用于与安装底座(5)连接，压电陶瓷(1)的下接触点(102)与弹性簧片(3)的中间刚性连接，使得弹性簧片(3)接触点能随着压电陶瓷(1)的下触点(102)一起运动，弹性簧片(3)两端可用固定螺丝(301)固定于安装底座(5)上，安装底座(5)上存在一个用于安装微位移探测器(4)的安装孔(504)。

2.根据权利要求1所述的一种高精度压力驱动装置，其特征在于：存在一个弹性簧片(3)，其采用弹性好、记忆性强的材料制作，并用弹性形变的大小来测算压力驱动装置的输出力大小。

3.根据权利要求1所述的一种高精度压力驱动装置，其特征在于：存在一个方向导槽(2)，方向导槽(2)上通过紧定螺丝(206)使得压电陶瓷(1)与方向导槽(2)形成点接触，以减小摩擦力。

4.根据权利要求1所述的一种高精度压力驱动装置，其特征在于：存在一个安装底座(5)，该安装底座(5)采用地膨胀系数材料制作，以减少温度变化对输出作用力精度的影响。

5.根据权利要求1所述的一种高精度压力驱动装置，其特征在于：存在一个闭环控制回路，使得作用力输出端位置不断变化时，也可以获得稳定的作用力输出。

6.根据权利要求1所述的一种高精度压力驱动装置，其特征在于：输出作用力的精度通过理论计算和事先标定的“压力—微位移量”关系曲线来控制。