[发明专利]光学校正装置与光学校正方法有效
| 申请号： | 201410804432.8 | 申请日： | 2014-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN105783708B | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 张奕威;力欧·马 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;常大军 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种光学校正装置与光学校正方法，光学校正装置包括至少一发光量测模块以及一定位校正模块。至少一发光量测模块发出至少一入射光线至一定位校正片，其中定位校正片反射至少一入射光线而产生至少一反射光线。定位校正模块耦接至少一发光量测模块，以及接收至少一反射光线以产生关于至少一反射光线的至少一校正图案，并且对至少一校正图案进行量测与分析以校正至少一发光量测模块的倾斜角度偏差及/或平面错位偏差。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 校正 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光学校正装置，其特征在于，包括：至少两个发光量测模块，每一发光量测模块发出至少一入射光线至一定位校正片，其中该定位校正片反射该至少一入射光线而产生至少一反射光线；以及至少两个定位校正模块，每个定位校正模块耦接一个发光量测模块，以及接收该至少一反射光线以产生关于该至少一反射光线的至少一校正图案，并且对该至少一校正图案进行量测与分析以校正该每一发光量测模块的倾斜角度偏差，其中当该每一发光量测模块配置于一第一高度时，该每一发光量测模块发出一第一入射光线至该定位校正片以产生一第一校正图案，并且当该每一发光量测模块配置于不同于该第一高度的一第二高度时，该每一发光量测模块发出一第二入射光线至该定位校正片以产生一第二校正图案，并且该定位校正模块量测与分析该第一校正图案以及该第二校正图案上的坐标位置以校正该每一发光量测模块的倾斜角度偏差。
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