[发明专利]蓝宝石衬底材料的复合碱抛光液及其循环使用方法

摘要

本发明涉及一种蓝宝石衬底材料的复合碱抛光液,其主要组成成分按重量％计，包括重量浓度2-50wt％以及粒径15-150nm的纳米SiO₂水溶胶10-50％、活性剂0.05-1％，螯合剂0.1-1％，pH调节剂0.1-2％，pH调节剂为无机碱和有机碱的混合物构成复合碱。循环使用步骤为，抛光液流量100g/min-300g/min，抛光压力0-0.2MPa，抛光转速40-60rpm，抛光温度30-40℃。有益效果：抛光液采用复合碱的形式，无机碱的强碱性可有效提高抛光去除速率，有机碱通过不断释放羟基保障抛光液pH的稳定性，保障循环抛光过程中抛光液的化学作用,解决了抛光速率低、效率低的技术问题。

主权项

一种蓝宝石衬底材料的复合碱抛光液,其特征是：其主要组成按重量％计，包括重量浓度2‑50wt％以及粒径15‑150nm的纳米SiO₂水溶胶10‑50％、活性剂0.05‑1％，螯合剂0.1‑1％，pH调节剂0.1‑2％，pH调节剂为无机碱和有机碱的混合物构成复合碱，所述无机碱0.05‑1.5％，有机碱0.05‑0.5％。