[发明专利]蓝宝石衬底材料的复合碱抛光液及其循环使用方法

权利要求书

1.一种蓝宝石衬底材料的复合碱抛光液,其特征是：其主要组成按重量％计，包括重量浓度2-50wt％以及粒径15-150nm的纳米SiO₂水溶胶10-50％、活性剂0.05-1％，螯合剂0.1-1％，pH调节剂0.1-2％，pH调节剂为无机碱和有机碱的混合物构成复合碱，所述无机碱0.05-1.5％，有机碱0.05-0.5％。

2.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底材料的复合碱抛光液,其特征是：所述复合碱抛光液的制备方法，按重量％计,将0.05-1.5％的无机碱加入去离子水稀释至完全溶解，边搅拌边加入0.05-0.5％的有机碱混合后作为pH调节剂；取44-89.65％的去离子水，边搅拌边加入10-50％纳米SiO₂水溶胶，随后边搅拌边依次加入0.05-1％的活性剂，0.1-1％的螯合剂，0.1-2％pH调节剂。

3.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底材料的复合碱抛光液,其特征是：所述活性剂为FA/O I型非离子表面活性剂、O_II-7((C_1OH₂₁-C₆H₄-O-CH₂CH₂O)₇-H)、O_II-10((C_1OH₂₁-C₆H₄-O-CH₂CH₂O)₁₀-H)、O-20(C_12-18H_25-37-C₆H₄-O-CH₂CH₂O)₇₀-H)、或JFC的一种或几种混合。

4.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底材料的复合碱抛光液,其特征是：所述pH调节剂的pH值为9-13。

5.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底材料的复合碱抛光液,其特征是：所述pH调节剂中的无机碱包括KOH、NaOH的一种或两种混合；有机碱包括羟乙基二胺、三乙醇胺、四羟基乙二胺或四羟乙基乙二胺的一种或几种混合。

6.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底材料的复合碱抛光液,其特征是：所述的螯合剂为FA/O II型螯合剂。

7.一种根据权利要求1所述蓝宝石衬底材料的复合碱抛光液的循环使用方法，其特征是：依据随抛光次数的增加去除速率逐渐降低的规律，根据工艺要求去除的厚度设定抛光时间，当去除速率达不到工艺要求值时，抛光液停止循环使用；具体抛光液循环使用的实施步骤为，取制备好的抛光液10Kg，抛光液流量100g/min-300g/min，抛光压力0-0.2MPa，抛光转速40-60rpm，抛光温度30-40℃，当抛光速率小于等于1.5微米/小时，抛光液停止循环使用。