[发明专利]一种多晶硅还原尾气回收与精馏联产系统

摘要

本发明提供一种多晶硅还原尾气回收与精馏联产系统，通过将解析塔分别与反歧化精馏塔和第一精馏塔直接相连，将解析出的含有大量二氯二氢硅的液相氯硅烷经由解析塔的塔顶输送至反歧化精馏塔，并将解析出的含有少量二氯二氢硅以及大量三氯氢硅和四氯化硅的液相氯硅烷经由解析塔的塔釜输送至第一精馏塔，一方面，精简掉缓冲罐和真空泵等设备，将还原尾气回收工艺与精馏工艺有效结合，简化工艺处理流程，降低生产成本；另一方面，省去在还原尾气回收工艺结束后冷却并存储液相氯硅烷的操作，以及在精馏工艺之前加热该液相氯硅烷的操作，简化操作，节约能耗。

主权项

一种多晶硅还原尾气回收与精馏联产系统，其特征在于，包括：吸收塔、解析塔、第一精馏塔和反歧化精馏塔；吸收塔与解析塔、用于输送吸收液的吸收液输送管线和用于输送气相氯硅烷的气相还原尾气输送管线相连，用于利用吸收液吸收气相氯硅烷中的氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅，将气相还原尾气中的氢气从吸收塔的塔顶排出，并将被吸收液吸收形成的氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅的混合液输送至解析塔(2)；解析塔(2)分别与反歧化精馏塔(4)、第一精馏塔(3)和用于输送液相氯硅烷的液相还原氯硅烷输送管线13相连，用于解析液相还原氯硅烷和被吸收液吸收形成的氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅的混合液，将解析出的含有大量氯化氢的不凝气体排出，将解析出的含有大量二氯二氢硅的液相氯硅烷经由解析塔的塔顶输送至反歧化精馏塔(4)，并将解析出的含有少量二氯二氢硅以及大量三氯氢硅和四氯化硅的液相氯硅烷经由解析塔的塔釜输送至第一精馏塔；第一精馏塔与反歧化精馏塔相连，用于从含有少量二氯二氢硅以及大量三氯氢硅和四氯化硅的液相氯硅烷中提纯出精制四氯化硅，将该精制四氯化硅经由第一精馏塔的塔釜输送至反歧化精馏塔，并将含有三氯氢硅和少量二氯二氢硅的氯硅烷经由第一精馏塔的塔顶排出；反歧化精馏塔用于将解析塔输送的含有大量二氯二氢硅的液相氯硅烷与第一精馏塔输送的精制四氯化硅反应生成三氯氢硅。