[发明专利]一种多晶硅还原尾气回收与精馏联产系统

权利要求书

1.一种多晶硅还原尾气回收与精馏联产系统，其特征在于，包括：吸收塔、解析塔、第一精馏塔和反歧化精馏塔；

吸收塔与解析塔、用于输送吸收液的吸收液输送管线和用于输送气相氯硅烷的气相还原尾气输送管线相连，用于利用吸收液吸收气相氯硅烷中的氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅，将气相还原尾气中的氢气从吸收塔的塔顶排出，并将被吸收液吸收形成的氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅的混合液输送至解析塔(2)；

解析塔(2)分别与反歧化精馏塔(4)、第一精馏塔(3)和用于输送液相氯硅烷的液相还原氯硅烷输送管线13相连，用于解析液相还原氯硅烷和被吸收液吸收形成的氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅的混合液，将解析出的含有大量氯化氢的不凝气体排出，将解析出的含有大量二氯二氢硅的液相氯硅烷经由解析塔的塔顶输送至反歧化精馏塔(4)，并将解析出的含有少量二氯二氢硅以及大量三氯氢硅和四氯化硅的液相氯硅烷经由解析塔的塔釜输送至第一精馏塔；

第一精馏塔与反歧化精馏塔相连，用于从含有少量二氯二氢硅以及大量三氯氢硅和四氯化硅的液相氯硅烷中提纯出精制四氯化硅，将该精制四氯化硅经由第一精馏塔的塔釜输送至反歧化精馏塔，并将含有三氯氢硅和少量二氯二氢硅的氯硅烷经由第一精馏塔的塔顶排出；

反歧化精馏塔用于将解析塔输送的含有大量二氯二氢硅的液相氯硅烷与第一精馏塔输送的精制四氯化硅反应生成三氯氢硅。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述吸收液输送管线与第一精馏塔相连，用于将第一精馏塔提纯出的精制四氯化硅作为吸收液输送至吸收塔。

3.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述吸收液的温度为-25～-45℃，流量为100～200m³/h。

4.如权利要求2所述的系统，其特征在于，吸收液输送管线上设置有第一换热器和第二换热器，第一换热器分别与吸收塔、液相还原氯硅烷输送管线和第二换热器相连，第二换热器分别与第一精馏塔和解析塔相连；

吸收塔输送的被吸收液吸收的氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅的混合液与液相还原氯硅烷输送管线输送的液相氯硅烷混合后得到混合后的液相氯硅烷，混合后的液相氯硅烷依次经过第一换热器和第二换热器加热，并经由第二换热器输送至解析塔；

第一精馏塔提纯出的精制四氯化硅依次经由第二换热器和第一换热器冷却，并经由第一换热器输送至吸收塔；

在第一换热器和第二换热器中，精制四氯化硅与混合后的液相氯硅烷换热。

5.如权利要求4所述的系统，其特征在于，还包括第二精馏塔，第二精馏塔与反歧化精馏塔和第一精馏塔的塔顶相连，用于接收第一精馏塔排出的含有三氯氢硅和少量二氯二氢硅的氯硅烷，分离出含杂质的二氯二氢硅，得到精制三氯氢硅，将含杂质的二氯二氢硅经由第二精馏塔的塔顶输送至反歧化精馏塔，并将精制三氯氢硅经由第二精馏塔的塔釜排出。

6.如权利要求5所述的系统，其特征在于，第二精馏塔的压力为0.2～0.6MPaG，温度为60～90℃，回流比为100:1～150:1。

7.如权利要求5所述的系统，其特征在于，还包括第三换热器，第三换热器分别与第二换热器、第一换热器、第二精馏塔、反歧化精馏塔和第一精馏塔的塔顶相连；

第三换热器用于，接收从第一精馏塔的塔顶输送的含有三氯氢硅和少量二氯二氢硅的氯硅烷，利用第二换热器输送的精制四氯化硅加热所述含有三氯氢硅和少量二氯二氢硅的氯硅烷，并将加热后的含有三氯氢硅和少量二氯二氢硅的氯硅烷输送至第二精馏塔；以及，利用从第一精馏塔的塔顶输送的含有三氯氢硅和少量二氯二氢硅的氯硅烷冷却第二换热器输送的精制四氯化硅，并将冷却后的精制四氯化硅输送至反歧化精馏塔；

第一精馏塔提纯出的精制四氯化硅依次经由第二换热器、第三换热器和第一换热器冷却，并经由第一换热器输送至吸收塔，以及，依次经由第二换热器和第三换热器冷却，并经由第三换热器输送至反歧化精馏塔。

8.如权利要求5所述的系统，其特征在于，第三换热器还与四氯化硅输出管线相连，用于将换热后的精制四氯化硅从所述多晶硅还原尾气回收与精馏联产系统中输出。