[发明专利]一种基于平板式电容检测的微梁断裂强度的测试结构有效
| 申请号： | 201410768361.0 | 申请日： | 2014-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN104458417A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 唐洁影;唐丹;王磊 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01N3/08 | 分类号： | G01N3/08;G01N3/06 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 杨晓玲 |
| 地址： | 210033 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明是一种基于平板式电容检测的微梁断裂强度的测试结构，包括衬底、置于衬底之上的测量结构和参考结构。测量结构由下极板、锚区、悬置在衬底上方的上极板和两根热臂梁、以及被测微梁构成；两根热臂梁垂直连接在上极板两侧，热臂梁的另一端固定在锚区侧面；被测微梁平行并介于两热臂梁之间，一端与上极板一侧面的中部相连，另一端固定在一个锚区侧面；下极板初始时紧临上极板下方区域，但不为上级板所遮蔽。参考结构除了不带有被测梁，其余部分与测量结构完全相同。测试中，在测量结构和参考结构上施加完全相同的电压，当两结构中的热臂梁通电发生热膨胀时，上极板向前方移动并部分遮挡住下极板，上、下极板之间的电容随上极板的移动而变化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 平板 电容 检测 断裂强度 测试 结构 | ||
【主权项】：
一种基于平板式电容检测的微梁断裂强度的测试结构，其特征在于该结构包括衬底(1)、置于衬底(1)之上的测量结构(2)和参考结构(3)；其中测量结构(2)由下极板(201)、上极板(202)、两根热臂梁(203)、被测微梁(205)、第一锚区(204)和第二锚区(206)构成；参考结构(3)除了不带有被测微梁，其余部分与测量结构(2)完全相同；所述下极板(201)沉积于衬底(1)的上表面，下极板(201)上生长有介质薄层；所述第一锚区(204)、第二锚区(206)置于衬底(1)上；所述两根热臂梁(203)与上极板(202)垂直相连，另一端固定在锚区(204)侧面；所述被测微梁(205)平行并介于两热臂梁(203)之间，一端与上极板(202)一侧面的中部相连，另一端固定在锚区(205)的一个侧面；所述上极板(202)、两根热臂梁(203)以及被测悬臂梁(205)位于同一平面并悬置在衬底(1)上方，与衬底(1)所在平面平行。所述下极板(201)初始时紧临上极板(202)正下方区域，但不为上级板(202)所遮挡；
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