[发明专利]一种基于平板式电容检测的微梁断裂强度的测试结构

权利要求书

1.一种基于平板式电容检测的微梁断裂强度的测试结构，其特征在于该结构包括衬底(1)、置于衬底(1)之上的测量结构(2)和参考结构(3)；其中测量结构(2)由下极板(201)、上极板(202)、两根热臂梁(203)、被测微梁(205)、第一锚区(204)和第二锚区(206)构成；参考结构(3)除了不带有被测微梁，其余部分与测量结构(2)完全相同；

所述下极板(201)沉积于衬底(1)的上表面，下极板(201)上生长有介质薄层；

所述第一锚区(204)、第二锚区(206)置于衬底(1)上；

所述两根热臂梁(203)与上极板(202)垂直相连，另一端固定在锚区(204)侧面；

所述被测微梁(205)平行并介于两热臂梁(203)之间，一端与上极板(202)一侧面的中部相连，另一端固定在锚区(205)的一个侧面；

所述上极板(202)、两根热臂梁(203)以及被测悬臂梁(205)位于同一平面并悬置在衬底(1)上方，与衬底(1)所在平面平行。

所述下极板(201)初始时紧临上极板(202)正下方区域，但不为上级板(202)所遮挡；

2.一种基于平板式电容检测的微梁断裂强度的测试结构，其特征在于：热臂梁(203)通电发生热膨胀推动上极板(202)向前方移动，同时拉伸被测微梁，上极板(202)移动后会部分遮挡住下极板(201)，从而与下极板(2)之间形成平板电容。