[发明专利]旋转装置

摘要

本发明提供一种旋转装置。在不损伤晶片、不减少每单位时间内能够清洗的晶片的数量的情况下，可靠地保持晶片。保持爪与晶片的外周接触，臂使保持爪以保持爪转动轴为轴转动，弹簧朝接近自旋旋转轴的方向对保持爪施力。臂具有因自旋旋转机构的旋转而产生推力的推力产生部，利用由推力产生部产生的推力，进一步朝接近自旋旋转轴的方向对保持爪施力，来保持晶片的维持。由于不需要加强弹簧产生的作用力，因而能够防止晶片缺损，不需要减慢保持爪的移动速度，因此，保持晶片所耗费的时间不会变长，每单位时间能够清洗的晶片的数量也不会减小。

主权项

1.一种旋转装置，其具有：保持机构，其具有至少3个保持晶片的外周的保持部；自旋旋转机构，其具有使该保持机构以自旋旋转轴为中心旋转的旋转驱动部；以及清洗液提供单元，其向被该保持机构保持的该晶片提供清洗液，利用该自旋旋转机构，使被该保持机构保持的该晶片旋转，清洗该晶片并使其干燥，其中，该保持部具有：保持爪，其与该晶片的外周接触；臂，其使该保持爪以保持爪转动轴为轴转动；以及弹簧，其朝接近该自旋旋转轴的方向对该保持爪施力，该臂具有推力产生部，该推力产生部利用因该自旋旋转机构的旋转而产生的相对空气流，产生推力，利用由该推力产生部产生的推力，进一步朝接近该自旋旋转轴的方向对该保持爪施力，来维持该晶片的保持。