[发明专利]一种超导强磁场磁控溅射阴极的低温冷却系统

摘要

一种超导强磁场磁控溅射阴极的低温冷却系统，由两个液氮存储杜瓦(1、5)、增压阀(2、6)、放气阀(3、7)、第一输液管道(4-1)和第一输液杆(4-2)、第二输液管道(8-1)和第二输液杆(8-2)、真空腔体(9)、磁体杜瓦上盖(10)，以及磁体杜瓦底座(11)组成。超导磁体(12)、外磁轭(13)、内磁轭(14)和底磁轭(15)安装在由磁体杜瓦上盖(10)和磁体杜瓦底座(11)所包围的密闭空间中，磁体杜瓦上盖(10)与阴极靶材(16)固定在一起，之间留有部分真空间隙(17)。超导磁体(12)由液氮迫流冷却；两个液氮存储杜瓦(1、5)交替工作，实现超导磁体(12)和阴极靶材(16)的冷却。

主权项

一种超导强磁场磁控溅射阴极的低温冷却系统，其特征在于：所述的低温冷却系统由第一液氮存储杜瓦(1)、第一增压阀(2)、第一放气阀(3)、第一输液管道(4‑1)和第一输液杆(4‑2)、第二液氮存储杜瓦(5)、第二增压阀(6)、第二放气阀(7)、第二输液管道(8‑1)和第二输液杆(8‑2)、真空腔体(9)、磁体杜瓦上盖(10)，以及磁体杜瓦底座(11)组成；第一增压阀(2)和第一放气阀(3)安装在第一液氮存储杜瓦(1)上部的两侧；第一输液管道(4‑1)通过第一输液杆(4‑2)插入第一液氮存储杜瓦(1)内部；第二增压阀(6)和第二放气阀(7)安装在第二液氮存储杜瓦(5)上部的两侧，第二输液管道(8‑1)通过第二输液杆(8‑2)插入第二液氮存储杜瓦(5)内部；磁体杜瓦上盖(10)和磁体杜瓦底座(11)构成磁体杜瓦；磁体杜瓦底座(11)通过管状托架(18)固定于真空腔体(9)底座上；第一输液管道(4)和第二输液管道(8)通过管状托架(18)进入磁体杜瓦。