[发明专利]一种白光半导体激光器

摘要

本发明提供一种白光半导体激光器，其包括：蓝宝石衬底、缓冲层、三个外延生长层、波长合束器；所述蓝宝石衬底为基板，依次覆上所述缓冲层和所述三个外延生长层；所述三个外延生长层作为有源区，激射出的三种波长的光；所述波长合束器将所述三种波长的光合束形成白光。本发明可以同时发射出三种不同波长光的激光器，在此基础上可通过波长合束的技术将三种不同波长的光束进行合束，使以蓝宝石为基底的白光半导体激光器的应用范围更广泛。

主权项

一种白光半导体激光器，其特征在于，包括：蓝宝石衬底、缓冲层、三个外延生长层、波长合束器；所述蓝宝石衬底为基板，依次覆上所述缓冲层和所述三个外延生长层；所述三个外延生长层作为有源区，激射出的三种波长的光；所述波长合束器将所述三种波长的光合束形成白光；其中：所述三个外延生长层分别为：红光外延生长层、绿光外延生长层和蓝光外延生长层；在每个外延生长层的N面电极接触层生长相应的N型电极，在每个外延生长层的P面电极接触层生长相应的P型电极；每个外延生长层从下往上依次包括N面电极接触层、保护层、N面包层、N面波导层、有源区、P面电子阻挡层、P面波导层、P面包层、P面电极接触层；所述三个外延生长层是采用金属有机化合物化学气相淀积的方式逐层沉积于所述蓝宝石衬底上方；所述P型电极和N型电极是在每个外延生长层上经光刻腐蚀、蒸发或溅射的方法覆盖一层或多层金属，然后再进行合金化形成的低阻金属；所述波长合束器包括：快轴准直镜、慢轴准直镜、透镜和色散元件；其中，所述快轴准直镜用于准直快轴方向的光束，所述慢轴准直镜用于准直慢轴方向的光束，所述透镜用于将所述快轴准直镜和所述慢轴准直镜准直的光束聚焦到所述色散元件上，所述色散元件将所述光束合束成白光。