[发明专利]一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置有效
| 申请号： | 201410754782.8 | 申请日： | 2014-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN104388934B | 公开（公告）日： | 2018-04-03 |
| 发明（设计）人： | 钟达;史浩飞;邵丽;张鹏飞;余杰 | 申请（专利权）人： | 重庆墨希科技有限公司;中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 401329 重*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置，包括底板、与底板固定连接的固定柱、下夹具和上夹具，下夹具为一方形凹块，凹块两边对应设置有孔，凹陷处便于刻蚀液流入用于刻蚀催化基底，上夹具为一方形方块，方形方块与方形凹块的长宽尺寸相同，方形方块上在与方形凹块相对应的位置处设置有孔，孔可以穿过固定柱。本发明能够同时对多个生长有石墨烯薄膜的催化基底进行刻蚀，提高生产效率，同时工装装置具有结构简单，易于制造的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 化学 沉积 方法 转移 石墨 薄膜 工装 装置 | ||
【主权项】：
一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置，其特征在于：包括底板（1）、与底板固定连接的固定柱（2）、下夹具（3）和上夹具（4）；所述下夹具（3）为一方形凹块，凹块两边对应设置有孔（5），所述凹块的凹陷处便于刻蚀液流入用于刻蚀催化基底；所述上夹具（4）为一方形方块，方形方块与方形凹块的长宽尺寸相同，方形方块上在与方形凹块相对应的位置处设置有孔（5）；所述孔（5）可以穿过固定柱（2）。
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