[发明专利]一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置有效
| 申请号： | 201410754782.8 | 申请日： | 2014-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN104388934B | 公开（公告）日： | 2018-04-03 |
| 发明（设计）人： | 钟达;史浩飞;邵丽;张鹏飞;余杰 | 申请（专利权）人： | 重庆墨希科技有限公司;中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 401329 重*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 化学 沉积 方法 转移 石墨 薄膜 工装 装置 | ||
1.一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置，其特征在于：包括底板（1）、与底板固定连接的固定柱（2）、下夹具（3）和上夹具（4）；所述下夹具（3）为一方形凹块，凹块两边对应设置有孔（5），所述凹块的凹陷处便于刻蚀液流入用于刻蚀催化基底；所述上夹具（4）为一方形方块，方形方块与方形凹块的长宽尺寸相同，方形方块上在与方形凹块相对应的位置处设置有孔（5）；所述孔（5）可以穿过固定柱（2）。
2.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置，其特征在于：所述与底板固定连接的固定柱（2）数量为6个；所述下夹具（3）和上夹具（4）上各设置有6个孔（5）。
3.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置，其特征在于：所述与底板固定连接的固定柱（2）为圆形或方形；所述下夹具（3）和上夹具（4）上设置的孔（5）为圆形或方形。
4.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置，其特征在于：所述与底板固定连接的固定柱（2）为圆形时，其直径为0.1 cm-3 cm。
5.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置，其特征在于：所述底板（1）、与底板固定连接的固定柱（2）、下夹具（3）和上夹具（4）均采用耐酸碱腐蚀的工程塑料制成。
6.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置，其特征在于：所述方形方块与方形凹块的厚度均为1 cm-50 cm。
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